HORIBA堀場在線監(jiān)控橢偏儀靈敏度高

UVISEL Plus在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應(yīng)腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實時監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過程。

HORIBA堀場在線監(jiān)控橢偏儀靈敏度高UVISEL Plus在線橢偏儀結(jié)合了速度快、靈敏度高、動態(tài)范圍寬和準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)，使其能夠在原子層水平監(jiān)控沉積/刻蝕，即使過程速度比較快也可實現(xiàn)。

采用新型適配器組件可以實現(xiàn)臺式設(shè)備和在線系統(tǒng)的切換。

UVISEL Plus在線橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅(qū)動，該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀。DeltaPsi2具有眾多先進(jìn)的建模和擬合處理功能，操作界面簡單，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。先進(jìn)的通訊協(xié)議，TCP/IP和RS232已被設(shè)計用于生產(chǎn)環(huán)境和OEM。

• 高速、準(zhǔn)確

• 完整集成了實時測量、建模和報告軟件包

• 便于在線和離線間切換

可獲得的信息

• 薄膜厚度

• 光學(xué)常數(shù)（n,k）

• 材料組成

各類日系工業(yè)品:,SSD西西蒂(離子風(fēng)扇)、AND愛安得（電子天平）、SAN-EI三英(點(diǎn)膠閥） HOYA光源,KURABO脫泡機(jī),USHIO牛尾照度計,Tsubosaka壺坂電機(jī),IMV愛睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機(jī),lambda拉姆達(dá)膜厚儀,MUSASHI武藏,SAKURAI櫻井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚儀、粒度儀）,Hitachi日立（掃描電鏡）,MIKASA米卡薩（旋涂設(shè)備、顯影）、POLARION普拉瑞、AITEC艾泰克（檢查光源）、Iwasaki巖崎、OTSUKA大塚電子（光學(xué)膜厚儀）、KOSAKA小坂（臺階儀）、HORIBA堀場儀器（分析儀）、SIBATA柴田科學(xué)（環(huán)境測定）、TORAY東麗濃度儀（氧氣分析儀）、yamada山田鹵素強(qiáng)光燈、CEDAR思達(dá)