HORIBA堀場高準確性橢圓偏振光譜儀

UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀為優良薄膜、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優化組合。

UVISEL Plus作為一款高準確性、高靈敏度、高穩定性的經典橢偏機型，它采用了PEM 相位調制技術，與機械旋轉部件技術相比， 能提供更好的穩定性和信噪比。光譜范圍從190nm到2100nm。

UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技術，可在3分鐘以內實現高分辨的樣品測試（190-2100 nm），校準僅需幾分鐘。基于全新的電子設備，數據處理和高速單色儀，FastAcq技術能夠為用戶提供高分辨及快速的數據采集。FastAcq專門為薄膜表征設計，雙調制技術可以確保您獲得優異的測試結果。

HORIBA堀場高準確性橢圓偏振光譜儀相位調制技術的特點為高頻調制 50 kHz，信號采集過程無移動部件：

• 測試全范圍的橢偏角，Ψ (0-90)，Δ (0-360)

• 從FUV到NIR具有優良的信噪比

• 數據采集速度快，高達50毫秒/點，是動力學研究和在線測量的理想選擇

相比于采用 旋轉元件調制的傳統橢圓偏振光譜儀，UVISEL Plus的相位調制模式在表征薄膜方面具有更高的靈敏度和精度。它不僅可以探測到其他橢偏儀無法觀測到的極薄膜或界面，還可以表征50µm的厚膜。

在測試有背反射的透明樣品時，測試簡單、準確，無需刮花背面。

UVISEL Plus還設計有多種附件及可選功能，便于客戶根據應用需求及預算選擇合適的配置。比如，微光斑用于圖案樣品、自動變角器、自動樣品臺等。

UVISEL Plus采用模塊化設計，可靈活擴展。即可用于離線臺式測量，也可以耦合于鍍膜設備做在線監控。

UVISEL Plus可根據習慣選擇操作界面，一個是 DeltaPsi2  具有建模和擬合處理功能；另一個是 Auto-Soft 用戶導向的全自動樣品測試界面 ，工作流程直觀，易于非專業人士操作。

UVISEL Plus搭載FastAcq技術是材料研究和加工、平板顯示、微電子和光伏領域中優選通用光譜型橢偏儀。

UVISEL Plus是材料科學研究的理想工具。

產品優勢

• 高精度和高靈敏度

• 模塊化設計

• 寬光譜范圍： 190-2100 nm

• 集數據測量、建模和自動化操作為一體的軟件包

獲得的信息

• 膜層厚度，從1?到50 µm

• 表面和界面粗糙度

• 光學常數 (n,k) ，適用于各向同/異性和漸變層

• 光學特性如：吸收系數α, 光學帶隙Eg

• 材料性能：合金成分、孔隙率、結晶度及形貌等

• 穆勒矩陣

• 退偏

各類日系工業品:,SSD西西蒂(離子風扇)、AND愛安得（電子天平）、SAN-EI三英(點膠閥） HOYA光源,KURABO脫泡機,USHIO牛尾照度計,Tsubosaka壺坂電機,IMV愛睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機,lambda拉姆達膜厚儀,MUSASHI武藏,SAKURAI櫻井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚儀、粒度儀）,Hitachi日立（掃描電鏡）,MIKASA米卡薩（旋涂設備、顯影）、POLARION普拉瑞、AITEC艾泰克（檢查光源）、Iwasaki巖崎、OTSUKA大塚電子（光學膜厚儀）、KOSAKA小坂（臺階儀）、HORIBA堀場儀器（分析儀）、SIBATA柴田科學（環境測定）、TORAY東麗濃度儀（氧氣分析儀）、yamada山田鹵素強光燈、CEDAR思達