HORIBA堀場原子力顯微鏡操作自動化SmartSPM掃描探針顯微鏡是第一個100%自動化的系統，它為所有AFM和STM模式下的納米級優良材料研究提供了快速、計量和高分辨率測量的技術。SmartSPM可以從達到100µm范圍掃描到原子級分辨率掃描。它能夠與光學光譜（SNOM、Raman、光致發光和TERS/SERS技術）無縫耦合。

  HORIBA堀場原子力顯微鏡操作自動化操作自動化

全自動激光-光電二極管準直

更換針尖簡單方便

豐富的各種測量模式

系統調試速度快

分辨率/穩定性/精確度

閉環平板掃描器即可實現100µm大范圍掃描，也可實現分子/原子分辨率掃描。

標準測量無需隔振系統。

低噪音傳感器設計保證了在分子分辨率成像過程中也能打開閉環，獲得準確的結果。

快速掃描

采用業界最高的高共振頻率掃描器（XY>7kHz和 Z>15kHz），優化的掃描器控制算法可以輕松實現快速掃描。

標配幾乎所有SPM模式，無需添加任何附件和額外成本

包括開爾文探針顯微鏡，壓電響應力顯微鏡，納米蝕刻和納米操縱。

輕松升級到納米拉曼光譜儀

SmartSPM無論從軟件設計到硬件設計都能與拉曼系統進行無縫的耦合。

各類日系工業品:,SSD西西蒂(離子風扇)、AND愛安得（電子天平）、SAN-EI三英(點膠閥） HOYA光源,KURABO脫泡機,USHIO牛尾照度計,Tsubosaka壺坂電機,IMV愛睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機,lambda拉姆達膜厚儀,MUSASHI武藏,SAKURAI櫻井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚儀、粒度儀）,Hitachi日立（掃描電鏡）,MIKASA米卡薩（旋涂設備、顯影）、POLARION普拉瑞、AITEC艾泰克（檢查光源）、Iwasaki巖崎、OTSUKA大塚電子（光學膜厚儀）、KOSAKA小坂（臺階儀）、HORIBA堀場儀器（分析儀）、SIBATA柴田科學（環境測定）、TORAY東麗濃度儀（氧氣分析儀）、yamada山田鹵素強光燈、CEDAR思達