BR-2T 本溪市2噸工業(yè)半導體超純水設備
參考價 | ¥ 180000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 上海濱潤環(huán)保科技有限公司
- 品牌 濱潤
- 型號 BR-2T
- 產地 上海浦東新區(qū)新欣東路27號
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/6/17 16:59:03
- 訪問次數 77
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應用領域 | 環(huán)保,食品/農產品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 |
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本溪市2噸工業(yè)半導體超純水設備方案
一、核心工藝設計
預處理系統(tǒng)
多介質過濾器:去除懸浮物、膠體、鐵銹等雜質(精度≥5μm)。
活性炭過濾器:吸附余氯、有機物,防止RO膜氧化。
軟化器(可選):降低鈣鎂離子濃度,防止RO結垢(原水硬度較高時必選)。
反滲透(RO)系統(tǒng)
高壓泵:316L不銹鋼材質,提供RO膜運行壓力(1.0-1.5MPa)。
RO膜組:陶氏BW30-400IG DRY或同類膜,脫鹽率≥99%,產水2噸/小時。
回收率:60-75%(根據原水TDS調整)。
后處理精制單元
電去離子(EDI)裝置:連續(xù)去除殘余離子,出水電阻率≥15MΩ·cm。
拋光混床:核級混床樹脂,進一步降低電導率至≥18.2MΩ·cm。
紫外線殺菌器:254nm波長,滅殺微生物,防止儲水箱二次污染。
TOC去除裝置(可選):UV氧化或活性炭吸附,控制總有機碳<5ppb。
儲存與分配系統(tǒng)
PVDF/316L不銹鋼儲水箱:帶氮氣保護或循環(huán)系統(tǒng),避免CO?吸收。
超純水分配管道:316L不銹鋼+UF過濾器,多點監(jiān)測電阻率(>18.2MΩ·cm)。
二、設備技術參數
組件 | 規(guī)格與要求 |
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RO膜組 | 4-6支8英寸陶氏膜,排列方式:一級一段 |
EDI模塊 | 2-4組,電流可調,自動再生 |
拋光混床 | 核級樹脂,填充量≥50L,可重復再生<10次 |
TOC控制 | UV氧化(254nm)+ TOC在線監(jiān)測(檢測限<5ppb) |
控制系統(tǒng) | PLC全自動+觸摸屏,實時監(jiān)測電導率、TOC、溫度、壓力,支持數據記錄與遠程監(jiān)控 |
材質與合規(guī)性 | PVDF/316L不銹鋼管道,符合SEMI F57、ISO 9001、ASME BPE標準 |
三、出水水質標準
電阻率:≥18.2MΩ·cm(25°C)
顆粒物:<10ppt(>0.2μm)
微生物:<1CFU/mL(UV+EDI抑制生物膜)
金屬離子:Na?<10ppb,Fe?3<1ppb,Cu2?<0.1ppb
TOC:<5ppb(可選<10ppb)
四、設備成本與運行費用
初期投資:
基礎版(RO+EDI+拋光混床):約30-40萬元(含自動控系統(tǒng))14。
高配版(含TOC控制+氮氣保護):約45-60萬元5。
運行成本:
RO膜:3-5年更換,約5-8萬元/套;
EDI模塊:5-8年更換,約10-15萬元/套;
拋光樹脂:1-2年更換,約2-5萬元/次。
能耗:約2-3元/噸(電費+泵耗)14。
耗材:
總成本:約5-8元/噸(含折舊)14。
五、合規(guī)與認證
遵循標準:
國際:SEMI F57(半導體超純水標準)、ASTM D5127(TOC檢測)5;
中國:電子級超純水國家標準(GB/T 11446.1)。
驗證文件:
DQ(設計確認)、IQ(安裝確認)、OQ(運行確認)、PQ(性能確認)
本溪市2噸工業(yè)半導體超純水設備需結合RO+EDI+拋光混床+UV工藝,選用PVDF/316L材質,配套全自動控制系統(tǒng),確保水質符合SEMI F57標準。