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化工儀器網>產品展廳>化工機械設備>其它設備>其它化工機械設備>BR-2T 本溪市2噸工業(yè)半導體超純水設備

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BR-2T 本溪市2噸工業(yè)半導體超純水設備

參考價 180000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準

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上海濱潤環(huán)保科技有限公司自創(chuàng)建以來,主要從事制藥,生物,保健品,化妝品,工業(yè),化工,醫(yī)院等純水,超純水的成套設備,能提供從原水開始到合格純水,純化水,超純水,注射用水(包括用水點)的全套工藝設計、設備制造、安裝、調試及DQ、IQ、OQ文件資料等“交鑰匙”工程。












純水設備,純凈水設備,超純水設備,反滲透設備,超濾設備

應用領域 環(huán)保,食品/農產品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥

本溪市2噸工業(yè)半導體超純水設備方案

一、核心工藝設計

  1. 預處理系統(tǒng)

    • 多介質過濾器:去除懸浮物、膠體、鐵銹等雜質(精度≥5μm)。

    • 活性炭過濾器:吸附余氯、有機物,防止RO膜氧化。

    • 軟化器(可選):降低鈣鎂離子濃度,防止RO結垢(原水硬度較高時必選)。

  2. 反滲透(RO)系統(tǒng)

    • 高壓泵:316L不銹鋼材質,提供RO膜運行壓力(1.0-1.5MPa)。

    • RO膜組:陶氏BW30-400IG DRY或同類膜,脫鹽率≥99%,產水2噸/小時。

    • 回收率:60-75%(根據原水TDS調整)。

  3. 后處理精制單元

    • 電去離子(EDI)裝置:連續(xù)去除殘余離子,出水電阻率≥15MΩ·cm。

    • 拋光混床:核級混床樹脂,進一步降低電導率至≥18.2MΩ·cm。

    • 紫外線殺菌器:254nm波長,滅殺微生物,防止儲水箱二次污染。

    • TOC去除裝置(可選):UV氧化或活性炭吸附,控制總有機碳<5ppb。

  4. 儲存與分配系統(tǒng)

    • PVDF/316L不銹鋼儲水箱:帶氮氣保護或循環(huán)系統(tǒng),避免CO?吸收。

    • 超純水分配管道:316L不銹鋼+UF過濾器,多點監(jiān)測電阻率(>18.2MΩ·cm)。


二、設備技術參數

組件規(guī)格與要求
RO膜組4-6支8英寸陶氏膜,排列方式:一級一段
EDI模塊2-4組,電流可調,自動再生
拋光混床核級樹脂,填充量≥50L,可重復再生<10次
TOC控制UV氧化(254nm)+ TOC在線監(jiān)測(檢測限<5ppb)
控制系統(tǒng)PLC全自動+觸摸屏,實時監(jiān)測電導率、TOC、溫度、壓力,支持數據記錄與遠程監(jiān)控
材質與合規(guī)性PVDF/316L不銹鋼管道,符合SEMI F57、ISO 9001、ASME BPE標準

三、出水水質標準

  • 電阻率:≥18.2MΩ·cm(25°C)

  • 顆粒物:<10ppt(>0.2μm)

  • 微生物:<1CFU/mL(UV+EDI抑制生物膜)

  • 金屬離子:Na?<10ppb,Fe?3<1ppb,Cu2?<0.1ppb

  • TOC:<5ppb(可選<10ppb)


四、設備成本與運行費用

  1. 初期投資

    • 基礎版(RO+EDI+拋光混床):約30-40萬元(含自動控系統(tǒng))14

    • 高配版(含TOC控制+氮氣保護):約45-60萬元5

  2. 運行成本

    • RO膜:3-5年更換,約5-8萬元/套;

    • EDI模塊:5-8年更換,約10-15萬元/套;

    • 拋光樹脂:1-2年更換,約2-5萬元/次。

    • 能耗:約2-3元/噸(電費+泵耗)14

    • 耗材

    • 總成本:約5-8元/噸(含折舊)14


    五、合規(guī)與認證

    1. 遵循標準

      • 國際:SEMI F57(半導體超純水標準)、ASTM D5127(TOC檢測)5

      • 中國:電子級超純水國家標準(GB/T 11446.1)。

    2. 驗證文件

      • DQ(設計確認)、IQ(安裝確認)、OQ(運行確認)、PQ(性能確認)

    本溪市2噸工業(yè)半導體超純水設備需結合RO+EDI+拋光混床+UV工藝,選用PVDF/316L材質,配套全自動控制系統(tǒng),確保水質符合SEMI F57標準。

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