本溪市2噸工業(yè)半導(dǎo)體超純水設(shè)備方案

一、核心工藝設(shè)計(jì)

1. 預(yù)處理系統(tǒng)

• 多介質(zhì)過濾器：去除懸浮物、膠體、鐵銹等雜質(zhì)（精度≥5μm）。

• 活性炭過濾器：吸附余氯、有機(jī)物，防止RO膜氧化。

• 軟化器（可選）：降低鈣鎂離子濃度，防止RO結(jié)垢（原水硬度較高時(shí)必選）。

2. 反滲透（RO）系統(tǒng)

• 高壓泵：316L不銹鋼材質(zhì)，提供RO膜運(yùn)行壓力（1.0-1.5MPa）。

• RO膜組：陶氏BW30-400IG DRY或同類膜，脫鹽率≥99%，產(chǎn)水2噸/小時(shí)。

• 回收率：60-75%（根據(jù)原水TDS調(diào)整）。

3. 后處理精制單元

• 電去離子（EDI）裝置：連續(xù)去除殘余離子，出水電阻率≥15MΩ·cm。

• 拋光混床：核級(jí)混床樹脂，進(jìn)一步降低電導(dǎo)率至≥18.2MΩ·cm。

• 紫外線殺菌器：254nm波長，滅殺微生物，防止儲(chǔ)水箱二次污染。

• TOC去除裝置（可選）：UV氧化或活性炭吸附，控制總有機(jī)碳＜5ppb。

4. 儲(chǔ)存與分配系統(tǒng)

• PVDF/316L不銹鋼儲(chǔ)水箱：帶氮?dú)獗Ｗo(hù)或循環(huán)系統(tǒng)，避免CO?吸收。

• 超純水分配管道：316L不銹鋼+UF過濾器，多點(diǎn)監(jiān)測(cè)電阻率（＞18.2MΩ·cm）。

二、設(shè)備技術(shù)參數(shù)

三、出水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

• 電阻率：≥18.2MΩ·cm（25°C）

• 顆粒物：＜10ppt（＞0.2μm）

• 微生物：＜1CFU/mL（UV+EDI抑制生物膜）

• 金屬離子：Na?＜10ppb，F(xiàn)e?3＜1ppb，Cu2?＜0.1ppb

• TOC：＜5ppb（可選＜10ppb）

四、設(shè)備成本與運(yùn)行費(fèi)用

1. 初期投資：

• 基礎(chǔ)版（RO+EDI+拋光混床）：約30-40萬元（含自動(dòng)控系統(tǒng)）14。

• 高配版（含TOC控制+氮?dú)獗Ｗo(hù)）：約45-60萬元5。

2. 運(yùn)行成本：

• RO膜：3-5年更換，約5-8萬元/套；

• EDI模塊：5-8年更換，約10-15萬元/套；

• 拋光樹脂：1-2年更換，約2-5萬元/次。

• 能耗：約2-3元/噸（電費(fèi)+泵耗）14。

• 耗材：

• 總成本：約5-8元/噸（含折舊）14。

五、合規(guī)與認(rèn)證

1. 遵循標(biāo)準(zhǔn)：

• 國際：SEMI F57（半導(dǎo)體超純水標(biāo)準(zhǔn)）、ASTM D5127（TOC檢測(cè)）5；

• 中國：電子級(jí)超純水國家標(biāo)準(zhǔn)（GB/T 11446.1）。

2. 驗(yàn)證文件：

• DQ（設(shè)計(jì)確認(rèn)）、IQ（安裝確認(rèn)）、OQ（運(yùn)行確認(rèn)）、PQ（性能確認(rèn)）

本溪市2噸工業(yè)半導(dǎo)體超純水設(shè)備需結(jié)合RO+EDI+拋光混床+UV工藝，選用PVDF/316L材質(zhì)，配套全自動(dòng)控制系統(tǒng)，確保水質(zhì)符合SEMI F57標(biāo)準(zhǔn)。