PSV系列 室溫真空探針臺
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- 公司名稱 上海柯舜科技有限公司
- 品牌 上海柯舜
- 型號 PSV系列
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/6/17 13:53:58
- 訪問次數 28
產品標簽
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PSV系列室溫真空探針臺，可對樣品進行穩定的非破壞性表征。PSV系列室溫真空探針臺可選配高溫樣品座，升級成高溫真空探針臺。高溫測試時，通過溫控儀的PID閉環回路實現精確控溫，溫度范圍：室溫-800K（500K可選）；通過外接不同的電學測量儀器，可在室溫真空和高溫真空環境下完成材料、器件的IV、CV、光以及微波等參數的電學測試。PSV系列真空探針臺是的一款性能非常優秀的可變溫探針臺，它可以幫助科研人員深入探究材料或器件的各項物理與電學性能，為新材料的研發和應用提供關鍵的數據保證。
特點
• 真空腔極限真空度能夠達到~10-4Torr。
• 真空腔材質為鋁制材料，能夠有效減小外界的電磁干擾提高測試的精準度和穩定性。
• 探針臂的位移調節在真空腔外操作，可以在不破壞真空的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試。
• 探針臂 X-Y-Z-R四維調節，能滿足2英寸樣品的測試。
• 標配四個直流探臂，最多可安裝六個探針臂，可以選配：微波探針臂、光纖探針臂、熱電偶探針臂。
• 直流探針臂采用三同軸接頭，漏電性能好，實測漏電流小于100fA@1V@300K-800K。
• 溫度范圍可擴展，安裝高溫選件后，支持300K-800K連續變溫。
型號分類：
| 型號 | 樣品座尺寸 |
| PSV-2 | 2英寸 |
參數和指標：
| 樣品座 | |
| 樣品座類型及材質： | 無氧銅接地樣品座 |
| 尺寸： | 2/4英寸 |
| 可選配置： | 接地樣品座、絕緣樣品座、同軸樣品座、三同軸樣品座 |
| 探針臂組件 | |
| 類型： | 直流探針臂 |
| 數量： | 4個 |
| 接頭和線纜： | 三同軸接頭 |
| 漏電流： | 100fA@1V真空環境 |
| 信號頻率： | 直流~50MHz 交流 |
| 匹配阻抗： | 50 Ω |
| 探針針尖直徑： | 100μm鈹銅探針 |
| 位移行程： | X-±35mm，Y-±12.5mm,Z-±6.5mm ，R-±10° |
| 讀數精度： | 10μm |
| 光學系統 | |
| 顯微鏡放大倍數： | 10~180 倍 |
| 分辨率： | 3μm |
| 視野范圍： | 可到 22mm |
| 顯微鏡工作距離： | 90~100mm |
| 顯微鏡支架升級行程： | 65mm |
| 真空腔體 | |
| 材料： | 鋁合金 |
| 腔體容積： | 4/6L |
| 外形尺寸： | 800*800*600 |
| 腔體入口尺寸： | ?124mm |
| 可視窗口尺寸： | 50mm |
| 真空度： | 5E-4 torr |
| 真空抽口： | KF25法蘭 |
| 真空腔體窗片： | 紅外絕熱材質 |
| 防輻射屏窗片： | 石英材質 |
| 充氣閥接口： | ?8 快拆接頭 |
| 預留接口： | 2個探針臂接口，2個電學接口 |
| 減振支架（選件） | |
| 尺寸（mm）：800×800×870；桌腳：有固定腳和滾輪可調換 | |
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