ART130XY系列 直線電機(jī)機(jī)械臺
- 公司名稱 無錫地心科技有限公司
- 品牌 地心科技
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/5/30 11:44:37
- 訪問次數(shù) 29
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
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價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,電氣,綜合 |
ART130XY系列是納米級定位精度的XY一體式運(yùn)動平臺,直線電機(jī)驅(qū)動,采用交叉滾柱導(dǎo)軌,具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度,空載截止頻率可達(dá)100Hz以上。它采用XY一體式設(shè)計,具有低側(cè)面高度、阿貝誤差小的特點,XY行程可以根據(jù)客戶需求定制,可作為二維運(yùn)動平臺單獨使用,也可以與ART130LZ、ART130-5V升降臺或者RSML系列轉(zhuǎn)臺搭配使用,組成不同的多軸配置來滿足客戶應(yīng)用。
ART130XY系列平臺雖然結(jié)構(gòu)緊湊但是有較強(qiáng)的驅(qū)動能力,速度可達(dá)500mm/s,空載加速度可達(dá)1g。配置線性放大器,帶隔振實驗室環(huán)境下,ART130XY系列平臺的在位穩(wěn)定性3nm和最小步進(jìn)量可以小于5nm,主要應(yīng)用于通訊領(lǐng)域的光纖耦合、半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測序以及激光微納加工等,可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。
精巧的結(jié)構(gòu)設(shè)計保證了ART130XY系列平臺出色的精度和動態(tài)性能,特別是在速度穩(wěn)定性要求苛刻的應(yīng)用中,它的優(yōu)異性能得到了很好的體現(xiàn),例如在掃描檢測應(yīng)用中,要求直線軸勻速20mm/s,運(yùn)動距離130mm,ART130XY系列平臺勻速段動態(tài)跟隨誤差<±100nm,能出色的完成項目任務(wù)。
ART130XY系列平臺最小步進(jìn)和在位穩(wěn)定性測試
5nm最小步進(jìn)(ASH反饋選項,配置線性放大器)
<3nm在位穩(wěn)定性(ASH反饋選項,配置線性放大器)