前段時間我們一起了解了《壓電納米位移臺是如何工作的》，主要介紹壓電位移臺里壓電馬達的種類和原理。回顧一下：由壓電馬達驅動的位移臺一般把馬達安裝在基座，而動子則是位移臺臺面的一部分。沒有傳統電磁馬達(伺服或步進電機)驅動的位移臺所需的絲桿或蝸輪蝸桿組傳動部件，是一個直接驅動，沒有回程間隙的驅動方式，有一定自鎖能力。由于壓電陶瓷的形變量極小，可以達到非常微小的平臺位移運動增量，可以說壓電馬達驅動的位移臺是名副其實的納米位移臺。

接下來我們將著重講解壓電平移臺的主要參數。
                                                                     
壓電平移臺的通用參數  

行程:
在保證精度的情況下，運動系統的運行距離。聯合光科壓電平移臺標準品目前的最大行程是±150mm。

最大負載：
對于線性平臺而言，這是指水平安裝時，可施加給平臺的最大負載。    且質量負載中心位于平臺的中心，垂直于運動軸和平臺表面。聯合光科壓電平移臺標準品目前的最大負載是20kg。

最大速度：
最大速度是指在額定負載的狀態下，系統能夠持續穩定運行的最大速度。對于短行程位移臺，其行程的限制也是制約運動系統最大速度的關鍵影響。聯合光科壓電平移臺標準品目前的最大閉環控制速度是50mm/s，開環運行可達100mm/s。

微量運動&納米級控制參數  

最小步距:
最小步距是指運動系統在連續、穩定情況下能夠移動的最小量。是實際當中能夠實現、經過反復驗證并且可重復的最小運動增量。這是表現壓電平移臺是真正納米平移臺的關鍵指標。聯合光科壓電平移臺標準品目前的最小步距是10nm。

雙向重復定位精度:
雙向重復定位精度是指，多次從兩個方向移動到指定位置的重復性指標。這也是位移臺常用并且重要的，表征重復性的參數。聯合光科壓電平移臺標準品目前的最小雙向重復定位精度是±100nm。行程對重復定位精度有一定影響，和在毫米行程內，可達到+/-50nm或更小。

運行軌跡穩定性方面參數  

運動平行度:
也稱平行度、平直度、平面度等，是指非軸向線性誤差中的垂直方向的分量。將固定于基準平面(如隔振平臺或大理石平臺)上的滑臺從基準點(行程端沿一定方向以一定間隔或全行程驅動電動位移臺并定位)，在相應定位位置上，分別測量垂直方向的差異量，我們定義其最大差值為運動平行度。聯合光科壓電平移臺標準品目前的運動平行度＜10μm。

直線度:
運動直線度是指非軸向線性誤差中的水平方向的分量。將固定于基準平面(如隔振平臺或大理石平臺)上的滑臺從基準點(行程端到全行程運動，沿一方向以一定間隔(通常選3~10 個點，盡可能均勻分布在全行程范圍)依次驅動電動滑臺并定位，在相應定位位置上。分別測量水平方向的差異量，

我們定義其最大差值為運動直線度。聯合光科壓電平移臺標準品的直線度在0-50行程內<2um，50-150行程<4um，更大行程的直線度約<10um。

    聯合光科的雙向重復定位精度，運動平行度，直線度檢測執行標準，符合GB/T 17421.2-2000（幾何精度檢驗）。測試環境：恒溫恒濕環境，溫度（27.5±1）℃，濕度（61±5）%。位移臺安裝在氣浮隔振平臺正常工作狀態，實驗室中無影響測量精度的氣流擾動、灰塵顆粒、振動和較強磁場波動。測量儀器：激光干涉儀，以上是壓電平移臺的主要參數介紹，歡迎大家咨詢！

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    聯合光科的10nm精度壓電平移臺為鋁合金主體，采用交叉滾柱導軌，具有高精密度、高重復性，高線性度。超薄緊湊型的結構設計，方便機械集成。聯合光科提供最小步進距10nm的壓電平移臺庫存產品供您選擇。

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產品特點

1. 壓電超聲波馬達驅動，軸向推8N
2. 采用交叉滾柱導軌，具有高精密度、高重復性，高線性度
3. 斷電自鎖，內具剎車功能，無回程間隙
4. 最小步進距10nm
5. 光柵尺位置傳感器
6. 超薄緊湊型設計，方便機械集成，鋁合金主體，陽極氧化處理