HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質(zhì)量流量控制器
| 參考價 | ￥ 18500 |
| 訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 曦源科學(xué)儀器（上海）有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/5/23 9:28:02
- 訪問次數(shù) 170
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1萬-3萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,綜合 |
HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品概述
HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質(zhì)量流量控制器 隸屬于 SEC-Z500X 系列，專為半導(dǎo)體制造、精密化工和高純氣體工藝控制而設(shè)計。其具備多氣體、多量程配置功能，支持 DeviceNet 通信協(xié)議，適配各種工業(yè)自動化控制系統(tǒng)。
主要特點
多氣體/多量程配置：支持通過軟件快速切換氣體類型與流量范圍（例如3 SLM、5 SLM、10 SLM）。
高精度控制：在全量程范圍內(nèi)提供 ±1% 設(shè)定值 或 ±0.25% 滿量程的控制精度。
快速響應(yīng)：<1 秒的響應(yīng)時間，有效提高工藝控制效率。
金屬密封結(jié)構(gòu)：全不銹鋼氣體接觸部分，適用于超高純應(yīng)用。
靈活通信接口：內(nèi)建 DeviceNet 通訊，部分版本支持模擬信號與 EtherCAT®。
結(jié)構(gòu)緊湊，安裝靈活：C-Seal 安裝接口，適配各類設(shè)備集成。
技術(shù)參數(shù)
支持的流量范圍為多種滿量程配置，常見有 3 SLM、5 SLM、10 SLM，可根據(jù)客戶需求定制。
支持的氣體類型包括氮?dú)猓∟?）、氧氣（O?）、氬氣（Ar）、硅烷（SiH?）等，具備多氣體切換功能。
控制精度為 ±1.0% 設(shè)定值（S.P.）或 ±0.25% 滿量程（F.S.），兩者取其較大值。
響應(yīng)時間小于等于 1 秒，可滿足高動態(tài)響應(yīng)需求。
采用壓電陶瓷控制閥，常閉型（Normally Closed），具備較高的穩(wěn)定性和安全性。
氣體接觸材質(zhì)為 SUS316L 不銹鋼，接口為 C-Seal 全金屬密封，適用于高純氣體控制。
內(nèi)置DeviceNet™ 通信接口，符合 ODVA 標(biāo)準(zhǔn)，部分型號支持模擬信號或 EtherCAT® 接口，便于集成。
電源要求為 DC 24V，最大功耗為約 4 VA。
推薦的工作環(huán)境為溫度 5～40℃，環(huán)境應(yīng)潔凈干燥以確保控制精度和壽命。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體光刻/刻蝕/沉積氣體控制
精細(xì)化工過程流量管理
光電器件生產(chǎn)
實驗室高純氣體流量監(jiān)測與控制
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