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GR-224FD 自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器/質(zhì)量流量傳感器

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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曦源科學(xué)儀器(上海)有限公司是一家專業(yè)的科學(xué)儀器供應(yīng)商,主要從事高校、科研院所、生物醫(yī)藥等生命科學(xué)領(lǐng)域?qū)嶒?yàn)室產(chǎn)品的銷售和技術(shù)服務(wù)。我公司致力于提供高品質(zhì)的科學(xué)儀器、耗材,為客戶提供整體解決方案,通過(guò)專業(yè)、細(xì)致以及全面的技術(shù)服務(wù),實(shí)現(xiàn)“為客戶提供更多價(jià)值”的承諾。公司成立以來(lái)一直與國(guó)內(nèi)外廠商保持密切聯(lián)系,不斷引進(jìn)各種優(yōu)質(zhì)的科學(xué)儀器產(chǎn)品。公司一直以“打造優(yōu)質(zhì)品牌、服務(wù)科學(xué)領(lǐng)域”的產(chǎn)品理念與社會(huì)宗旨,積極推動(dòng)祖國(guó)科研事業(yè)發(fā)展。


“超微量分光光度計(jì),菌落計(jì)數(shù)儀,移液器,紫外輻照儀,紫外交聯(lián)儀,熒光蛋白激發(fā)光源,紫外燈”

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 其他
價(jià)格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,電子/電池,汽車及零部件,電氣

HORIBA GR-224FD 自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器/質(zhì)量流量傳感器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

HORIBA GR-224FD 是一款專為半導(dǎo)體制造過(guò)程中的晶圓背面壓力控制而設(shè)計(jì)的自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器/質(zhì)量流量傳感器。該系列產(chǎn)品采用高精度壓力傳感器和高速響應(yīng)的控制閥,能夠?qū)崿F(xiàn)從真空到大氣壓的精確壓力控制,確保晶圓在等離子體 CVD、刻蝕等工藝中的溫度穩(wěn)定性。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 高精度壓力控制:內(nèi)置高性能壓力傳感器,確保壓力控制的精度和穩(wěn)定性。

  • 快速響應(yīng):采用高速響應(yīng)的控制閥,實(shí)現(xiàn)快速的壓力調(diào)節(jié),適應(yīng)工藝過(guò)程中的壓力變化需求。

  • 支持 EtherCAT 通信:具備 EtherCAT 通信接口,方便與上位機(jī)系統(tǒng)集成,實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制和監(jiān)測(cè)。

  • 緊湊設(shè)計(jì):與質(zhì)量流量控制器(MFC)尺寸相當(dāng),便于在設(shè)備中集成安裝。

  • 多種氣體兼容:適用于氦氣(He)、氬氣(Ar)、氮?dú)猓∟?)等多種氣體。

技術(shù)規(guī)格

  • 壓力控制范圍:2~100% F.S.

  • 壓力精度:±0.5% F.S.

  • 響應(yīng)時(shí)間:3 秒以內(nèi)

  • 最大工作壓力:1000 kPa (A)

  • 耐壓:1000 kPa (A)

  • 外部泄漏率:5×10?12 Pa·m3/s (He) 以下

  • 適用氣體:He, Ar, N?

  • 接頭類型:1/4 英寸 VCR 相當(dāng)

  • 接氣部材質(zhì):SUS316L

  • 工作溫度范圍:5~50℃(精度保證溫度范圍:15~40℃)

  • 電源:24VDC ±4V

  • 通信接口:DeviceNet

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體制造:用于等離子體 CVD、刻蝕等工藝中晶圓背面的壓力控制,確保溫度的均勻性和穩(wěn)定性。

  • 真空設(shè)備:在真空成膜設(shè)備中,實(shí)現(xiàn)搬送腔體的壓力控制,確保晶圓在搬送過(guò)程中的安全性。

  • 其他高精度壓力控制場(chǎng)合:適用于需要精確壓力控制的其他工業(yè)應(yīng)用。





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