ULVAC愛發科 低溫真空泵 C30PMVRT

ULVAC愛發科 低溫真空泵 C30PMVRT

低溫泵是一種伸縮式真空泵，旨在實現從高真空到超高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內部的低溫表面上，并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點是可以提供無油污染的清潔真空。

此外，值得注意的是，低溫泵盡管使用吸附方式，但與其他真空泵相比，其抽速非常高。 因此，低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環境的各個行業和研究部門。

在考慮安裝低溫泵時，其高性能和提供清潔真空環境的能力是一大優勢。

需要運行低溫泵。

壓縮的氦氣被送入冰箱，從冰箱返回的高溫氦氣被冷卻和循環。

低溫真空泵主要由三部分組成：低溫制冷系統（通常采用閉循環氦氣制冷機）、低溫抽氣表面和真空外殼。工作時，低溫泵內部的第一級冷頭溫度通常維持在50-80K（用于冷凝水蒸氣、二氧化碳等氣體），第二級冷頭溫度可降至10-20K（用于冷凝氮氣、氧氣、氬氣等），而溫度可達2-4K（用于吸附氫氣、氦氣等難冷凝氣體）。

二、低溫真空泵的特點

1. 無油清潔：低溫泵不使用油類介質，避免了油蒸氣對真空系統的污染，特別適合對潔凈度要求高的應用場合。

2. 抽速范圍廣：對常見氣體的抽速可達幾千至幾萬升/秒，特別對水蒸氣、氮氣、氧氣等有的抽速。

3. 極限真空高：可獲得10??至10?11Pa的超高真空，是目前獲得超高真空的主要手段之一。

4. 結構緊湊：相比擴散泵等傳統高真空泵，體積小、重量輕，便于安裝。

5. 無振動運行：現代閉循環低溫泵振動極小，適合精密儀器使用。

6. 抽氣選擇性：對不同氣體有不同的抽速，可通過溫度調節實現選擇性抽氣。

7. 可再生性：當吸附飽和后，可通過加熱再生恢復抽氣能力。

規范