單層潔凈烤箱專為半導體、電子封裝、醫藥、光學等高潔凈度行業設計，通過精密溫控與高效過濾系統，實現無塵、均勻的烘烤環境。其核心功能包括：

潔凈控制：內置HEPA或ULPA過濾器（過濾等級≥0.3μm），循環風道封閉設計，防止外部污染進入。

精準溫控：PID溫控系統（精度±1℃），多段程序控溫，滿足固化、退火、預熱等工藝需求。

均勻性保障：強制對流風扇+均風板設計，確保腔內溫度均勻性（±2℃~±5℃）。

一、技術特點

潔凈室兼容

箱體采用304/316L不銹鋼材質，耐腐蝕易清潔，符合Class 1000~10000潔凈標準。

可選配充氮裝置（氮氣濃度可控99.99%），避免氧化或濕敏材料受潮。

安全與節能設計

超溫報警、防爆泄壓閥、獨立限溫器三重保護，防止意外故障。

低功耗隔熱層（巖棉/陶瓷纖維）降低能耗，節能達30%。

靈活性與擴展性

支持定制尺寸（如450mm×450mm×450mm標準腔體），適配不同載具（如晶圓舟、托盤）。

可集成MES系統，實現遠程監控與數據追溯（如溫度曲線、運行日志）。

二、關鍵組件與工藝適配

加熱系統：碳纖維紅外加熱管或嵌入式電熱絲，升溫速率可調（0.5℃~10℃/min）。

空氣循環：軸流風機+勻流孔板，風速可調節，避免粉塵二次附著。

典型應用：

半導體：光刻膠固化、晶圓烘干、BCB聚合物固化。

醫藥：注射劑瓶干燥、醫療器械滅菌后烘干。

光學：透鏡鍍膜固化、濾光片應力消除。

三、操作與維護優勢

人機界面：7英寸觸摸屏（支持中英文切換），預設工藝模板一鍵調用。

清潔便捷：可拆卸不銹鋼內腔，R角設計，配合酒精或去離子水擦拭即可。

認證標準：符合SEMI S2/S8、ISO 14644-1潔凈度規范，CE/RoHS認證。

四、選型指南

基礎款：適用于常規電子元件烘烤（溫度范圍RT~300℃，潔凈度Class 1000）。

高級款：添加真空泄漏檢測、氧濃度監控，適配MEMS傳感器、LiDCO封裝等嚴苛工藝。

單層潔凈烤箱通過高效過濾、精準控溫與安全防護，解決高潔凈場景下的烘烤難題，兼具穩定性與靈活性，是精密制造的設備。