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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>其它半導體行業儀器設備>其它半導體設備> 全密閉防塵爐管存放柜

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全密閉防塵爐管存放柜

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 芯矽科技
  • 型號
  • 產地 工業園區江浦路41號
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/4/25 14:32:59
  • 訪問次數 75

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


芯矽科技是一家專注半導體濕法設備制造公司,主要提供實驗室研發級到全自動量產級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學品/研磨液供應回收系統及工程,公司核心產品12寸全自動晶圓化學鍍設備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據行業主導地位,已經成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導體濕法設備

價格區間 面議 應用領域 電子/電池,包裝/造紙/印刷,汽車及零部件,電氣

爐管存放柜是專為高溫工藝設備(如擴散爐、退火爐、CVD爐等)設計的存儲工具,主要用于安全存放爐管、石英管、陶瓷管等關鍵部件,避免因環境因素或操作不當導致的損壞。以下是其核心功能、技術特點及應用場景的詳細說明:

全密閉防塵爐管存放柜

一、核心功能

高溫防護

針對剛從高溫設備中取出的爐管,存放柜需具備隔熱性能,防止余熱損壞柜體或引發火災。

采用耐高溫材料(如石棉板、陶瓷纖維)作為內襯,部分柜體外部加裝散熱鋁板或通風口,加速熱量散發。

防腐蝕與防塵

爐管表面可能附著化學殘留物(如氧化層、蝕刻液),存放柜需具備耐腐蝕性。

柜體材質多為不銹鋼或鍍鋅鋼板,內部涂覆防腐涂層(如環氧樹脂),配合密封條設計,隔絕濕氣、灰塵和微粒污染。

物理保護

通過分層隔板、定制凹槽或固定卡扣,防止爐管在運輸或存放過程中碰撞、磨損。

部分型號配備抗震海綿或硅膠墊,緩沖意外沖擊。

全密閉防塵爐管存放柜

二、技術特點

結構設計

模塊化分層:可調節隔板或獨立分格,適應不同長度、直徑的爐管,支持分類存儲(如按工藝、批次或潔凈度分級)。

透明可視窗:部分柜門采用鋼化玻璃或聚碳酸酯板,便于快速確認內部存放情況,減少頻繁開門導致的溫濕度波動。

環境控制

溫濕度監控:內置溫濕度傳感器,部分型號配備除濕裝置,防止潮濕環境導致爐管銹蝕或霉菌滋生。

氣體凈化:針對特殊工藝(如半導體制造),可選配惰性氣體(如氮氣)填充功能,避免爐管表面氧化。

安全性能

防火防爆:柜體材料符合阻燃標準,透氣孔設計防止揮發性氣體積聚,部分型號通過防爆認證(如Ex dⅡBT4)。

鎖定與標識:配備密碼鎖或電子鎖,防止陌生人員接觸;柜門標注“高溫警示”或“化學品殘留”等提示信息。

全密閉防塵爐管存放柜

三、應用場景

半導體制造

存放擴散爐、氧化爐的石英爐管,避免粉塵污染影響芯片良率。

兼容潔凈室環境,部分柜體符合Class 1000及以上潔凈度要求。

光伏產業

存儲硅片加工用的石英管、石墨舟槽,防止溫度驟變導致材料開裂。

科研實驗室

用于存放化學氣相沉積(CVD)、熱CVD等實驗設備的爐管,支持高頻次取用。

工業熱處理

存放汽車零件淬火、金屬退火用的爐管,適應高溫、油污環境。

全密閉防塵爐管存放柜

四、選型建議

材質選擇:普通工業場景可選冷軋鋼板噴涂柜,半導體或高精密領域建議使用304/316不銹鋼+防腐涂層。

尺寸定制:根據爐管長度、直徑及數量設計分格,預留10%-15%空間方便取放。

附加功能:

如需長期存儲,可增加除濕模塊或充氮接口;

頻繁取用場景建議配備滾輪或叉車槽,提升移動便利性。

五、維護要點

定期清潔柜體內部,避免化學殘留物腐蝕;

檢查密封條老化情況,及時更換;

高溫爐管需冷卻至安全溫度后再存入,避免直接接觸柜體。

爐管存放柜通過科學設計和材料優化,解決了高溫部件存儲中的安全、污染和效率問題,是半導體、光伏、熱處理等行業的配套設備。



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