自動檢測 晶圓檢查顯微鏡涵蓋了XY手動/電動運動臺、Z軸運動臺、物鏡模組、光源模組、晶圓放置模組、成像觀察模組、遠(yuǎn)程控制手柄、主動對焦模組、缺陷標(biāo)記模組以及晶圓搬運模組等模塊，旨在為半導(dǎo)體行業(yè)提供高效、精準(zhǔn)、全面的晶圓檢測解決方案。

核心模塊介紹

XY手動/電動運動臺

精度與行程：XY運動軸精度高達≤2 μm，行程范圍為205 mm * 205 mm，確保大范圍內(nèi)的精準(zhǔn)定位。

便捷操作：配備離合器手柄，實現(xiàn)快速移動，提高操作效率。

Z軸運動臺

雙控系統(tǒng)：同時配備電傳手輪和碼盤，微調(diào)精度≤1 μm，行程≥36 mm，滿足高精度調(diào)焦需求。

物鏡模組

品牌合作：采用蔡司原裝手動/電動物鏡切換裝置，兼容多種高質(zhì)量物鏡，包括EpiPlan消色差物鏡、EPN半復(fù)消色差物鏡及EPA復(fù)消色差物鏡，提供清晰、無畸變的圖像。

光源模組

高效照明：提供5W和10W LED透射式光源選項，滿足不同照明需求，確保圖像亮度和對比度。

晶圓放置模組

多尺寸兼容：載物臺可兼容4英寸、6英寸和8吋晶圓片，保留透射光路，支持液晶面板檢測，靈活多變。

成像觀察模組

相機與目鏡適配：適配蔡司Axiocam系列相機和海康威視系列相機，可選配蔡司目鏡，提供明場/暗場、微分干涉、熒光和偏光等多種觀察方式。

遠(yuǎn)程控制手柄

集成控制：集成物鏡切換、光強控制、照明切換、Z軸聚焦、XY運動軸遙感、缺陷標(biāo)記和主動對焦等功能，實現(xiàn)一鍵式操作。

主動對焦模組

實時對焦：兼容主動對焦模組，在50×物鏡下實現(xiàn)實時對焦，確保圖像始終清晰。

缺陷標(biāo)記模組

實時標(biāo)記：兼容缺陷標(biāo)記模組，可對樣品缺陷部分進行實時標(biāo)記，便于后續(xù)處理。

晶圓搬運模組

自動上下料：兼容晶圓搬運模組，實現(xiàn)晶圓片的自動上下料，提高生產(chǎn)效率。

自動檢測 晶圓檢查顯微鏡產(chǎn)品優(yōu)勢

高精度：各運動軸及物鏡切換裝置均具備高精度性能，確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。

多功能：集成多種觀察方式和輔助功能，滿足不同檢測需求。

易操作：遠(yuǎn)程控制手柄設(shè)計人性化，操作簡便快捷。

兼容性強：可兼容多種尺寸的晶圓片和相機設(shè)備，適應(yīng)性強。

應(yīng)用領(lǐng)域

該晶圓檢測顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、液晶面板檢測、材料科學(xué)研究等領(lǐng)域，為各類精密檢測提供有力支持。