智能、易用、準(zhǔn)確 晶圓級(jí)檢測顯微鏡

搭載自動(dòng)對(duì)焦和激光缺陷標(biāo)記的8/12吋晶圓級(jí)檢測顯微鏡

為半導(dǎo)體制造、面板顯示以及光伏等工業(yè)領(lǐng)域提供多維度的自動(dòng)檢測方案

Miracle Inspection系列顯微鏡在基于蔡司光學(xué)的基礎(chǔ)上，采用了模塊化的設(shè)計(jì)方式。通過電動(dòng)位移臺(tái)和各個(gè)功能模塊之間的相互配合，在實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓級(jí)樣品自動(dòng)上下料的同時(shí)，可在多個(gè)維度上對(duì)其進(jìn)行加工選擇和自動(dòng)檢測，從而高質(zhì)量的完成客戶的需求，并一鍵式自動(dòng)生成測試報(bào)告，實(shí)現(xiàn)整套工作流程的一致性朔源。

高效的工作模式

Miracle Inspection系列顯微鏡提供多種電動(dòng)選件，通過硬件和軟件算法之間的相互配合，使得顯微鏡能夠在不同的工作模式下，高效地實(shí)現(xiàn)對(duì)待測樣品區(qū)域的大圖拼接、景深融合以及微區(qū)加工等操作，從而讓客戶在極短的時(shí)間內(nèi)完成對(duì)待測樣品多個(gè)維度下的檢測和加工。

景深融合

使用景深融合的技術(shù)，通過圖像處理的算法把待測樣品不同焦平面的圖像融合為單張全視野清晰圖像，從而直觀得獲取待測樣品的三維細(xì)節(jié)。除此之外，搭配AI算力模型，融合后的圖像可直接通過模型進(jìn)行目標(biāo)識(shí)別和分類，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)待測物的自動(dòng)分析，在提高整體的檢測效率和準(zhǔn)確性的同時(shí)，可以大幅減少人為操作所帶來的誤差。

大圖拼接

使用大圖拼接的技術(shù)，通過將多個(gè)相鄰視場的顯微圖像進(jìn)行無縫拼接為單張高分辨率的全景圖像，從而結(jié)合低倍導(dǎo)航圖與高倍率細(xì)節(jié)圖，在消除視野盲區(qū)的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)從宏觀到微觀的多層級(jí)研究。除此之外，拼接得到的大圖可以作為導(dǎo)航圖進(jìn)行區(qū)域選擇，通過搭配激光缺陷標(biāo)記模塊，可實(shí)現(xiàn)對(duì)待測樣品視野外區(qū)域的精確加工和激光修復(fù)，提升整個(gè)工作流程中的工作效率。

“交鑰匙”式晶圓檢查解決方案

Miracle Inspection系列顯微鏡旨在為客戶提供簡單易用的操作環(huán)境，通過集成符合人體工學(xué)的觀察目鏡、遠(yuǎn)程控制手柄和強(qiáng)大的操作軟件等配置，使得客戶在使用時(shí)無需自行開發(fā)或整合所有模塊，就可以完成對(duì)整個(gè)晶圓級(jí)樣品的換樣、缺陷標(biāo)記、數(shù)據(jù)分析到輸出客戶體系報(bào)告的全流程任務(wù)，確保檢測結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)化與可重復(fù)性，以工程化的思維解決碎片化的需求，使整個(gè)工作流程無縫銜接，讓客戶聚集于業(yè)務(wù)決策而非技術(shù)細(xì)節(jié)。

實(shí)時(shí)測量，提供準(zhǔn)確數(shù)據(jù)

Miracle Inspection系列顯微鏡可提供多種測量方案，通過搭配自動(dòng)對(duì)焦模組，可實(shí)時(shí)采集待測樣品多個(gè)維度下的信息。在實(shí)時(shí)對(duì)樣品表面進(jìn)行特征線性尺寸、角度、圓直徑、矩形邊測量等基礎(chǔ)測量的同時(shí)，基于嵌入式處理單元搭建模型環(huán)境，從而實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)本地實(shí)時(shí)處理和模型訓(xùn)練，避免數(shù)據(jù)傳輸或云端引入的延遲來進(jìn)行實(shí)時(shí)二維材料層數(shù)識(shí)別或者光學(xué)元器件的自動(dòng)分揀，最終根據(jù)客戶導(dǎo)入的報(bào)告體系，生成最終的檢測報(bào)告。

延續(xù)蔡司品質(zhì)，歷經(jīng)百年的光學(xué)質(zhì)量

整合ICCS光學(xué)優(yōu)勢，實(shí)現(xiàn)更好的光學(xué)成像效果 提供明場、暗場、DIC、偏光以及熒光等多種方式來對(duì)樣品進(jìn)行觀察和檢測。

豐富的物鏡選項(xiàng)

蔡司物鏡提供的光學(xué)性能，通過高分辨率圖像顯示微小特征結(jié)構(gòu)，無論是材料紋理還是結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)，都能精準(zhǔn)呈現(xiàn)。 復(fù)消色差物鏡在消色差的同時(shí)，保證在400-700nm內(nèi)有更高透過率，并且通過更高的數(shù)值孔徑實(shí)現(xiàn)更高的空間分辨率，適合高精度量測任務(wù)。

智能快速的自動(dòng)對(duì)焦

Miracle Inspection系列顯微鏡可配置自動(dòng)對(duì)焦模塊，通過660nm/780nm/808nm的反射 光源、Z軸位移臺(tái)和高幀率觀測相機(jī)之間的高度協(xié)同性，能夠快速根據(jù)軟件算法確定樣品的聚焦平面并保持持續(xù)的追焦?fàn)顟B(tài)。這不僅解決了手動(dòng)調(diào)焦的諸多問題，更通過數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)焦點(diǎn)的決策，為后續(xù)分析提供高質(zhì)量的輸入，推動(dòng)科研與工業(yè)檢測進(jìn)入全自動(dòng)高保真時(shí)代。

***支持所有Zeiss Axioscope系列顯微鏡升級(jí)此配件

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智能高效的激光缺陷標(biāo)記

Miracle Inspection系列顯微鏡可配置激光缺陷標(biāo)記模塊，通過配備450nm和532nm的雙激光組合，可以在顯微鏡的體系中將精準(zhǔn)檢測與物理標(biāo)識(shí)深度結(jié)合，構(gòu)建“發(fā)現(xiàn)-標(biāo)記-處理”的閉環(huán)質(zhì)檢體系，在完成多種亞微米級(jí)激光應(yīng)用的同時(shí)，通過數(shù)據(jù)-物理空間的雙向映射，為智能化制造提供可追溯的數(shù)字化孿生錨點(diǎn)。

導(dǎo)航圖預(yù)覽、圖紙對(duì)比、準(zhǔn)確定位

通過導(dǎo)航圖預(yù)覽功能，操作人員可以迅速了解晶圓的整體布局和結(jié)構(gòu)，從而快速定位到感興 趣的區(qū)域。對(duì)于大面積晶圓的精準(zhǔn)檢測尤為重要，可以節(jié)省大量尋找特定區(qū)域的時(shí)間。

基于軟件中高級(jí)圖像分析能力,智能、易用、準(zhǔn)確 晶圓級(jí)檢測顯微鏡能夠?qū)⒕A的實(shí)際圖像與設(shè)計(jì)圖紙進(jìn)行實(shí)時(shí)對(duì)比，方便操作人員快速且精確的識(shí)別出兩者的差異。還可以憑借“激光標(biāo)記”功能，將需要改善的位置直接標(biāo)記出來，為下一步優(yōu)化參數(shù)和制造工藝提高便利。

第三方兼容，實(shí)現(xiàn)晶圓自動(dòng)搬運(yùn)0

通過導(dǎo)航圖預(yù)覽功能，操作人員可以迅速了解晶圓的整體布局和結(jié)構(gòu)，從而快速定位到感興趣的區(qū)域。對(duì)于大面積晶圓的精準(zhǔn)檢測尤為重要，可以節(jié)省大量尋找特定區(qū)域的時(shí)間。