EBARA荏原 ESA干式真空泵

ESA型在LCD濺鍍、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽氣的場景表現(xiàn)出色。具備流量自適應(yīng)轉(zhuǎn)速調(diào)整、通信功能等額外功能。

EBARA荏原 ESA干式真空泵

●適用于大型真空腔室的高速抽氣場景；

●搭載轉(zhuǎn)速自動控制功能（自適應(yīng)泵的負(fù)荷）；

●可滿足有機溶劑要求的可選配件；

●搭載高性能通信功能；

●優(yōu)良的控制管理方式

（數(shù)據(jù)保存功能、警報履歷備份）。

核心技術(shù)特性

無油設(shè)計：采用多級壓縮或爪式/螺桿式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，通過精密機械密封實現(xiàn)無油運行，避免油蒸氣污染，適合潔凈環(huán)境（如半導(dǎo)體、生物實驗室）。

耐腐蝕材料：核心部件使用不銹鋼、陶瓷涂層或特殊合金，可耐受腐蝕性氣體（如酸性、堿性介質(zhì)）。

高效節(jié)能：優(yōu)化轉(zhuǎn)子動力學(xué)設(shè)計，能耗較傳統(tǒng)油式泵降低30%~50%，支持變頻調(diào)速（20%~100%流量調(diào)節(jié)）。

低維護成本：無需定期更換油液，維護周期長達(dá)8,000~12,000小時，顯著減少停機時間。

用戶體驗與核心優(yōu)勢

潔凈無污染：消除油蒸氣反流問題，保護工藝介質(zhì)與產(chǎn)品質(zhì)量。

低噪音運行：噪聲水平＜65 dB(A)，適合實驗室及潔凈車間環(huán)境。

智能監(jiān)控：集成壓力傳感器與物聯(lián)網(wǎng)模塊，實時監(jiān)測真空度、溫度、振動，支持遠(yuǎn)程報警與故障診斷。

模塊化設(shè)計：支持多泵并聯(lián)或與分子泵、羅茨泵組成復(fù)合真空系統(tǒng)，覆蓋0.1 Pa~1000 Pa寬范圍真空需求。