KLA Candela® 7100系列缺陷檢測和分類系統這套檢測系統以激光為基礎，能夠對硬盤驅動器的基板和介質進行高靈敏度的表面缺陷檢測，同時具有多條光學路徑，用于對亞微米凹坑和微粒進行分類。自動化模型Candela 7140配有片盒對片盒傳輸系統。

KLA Candela® 7100系列缺陷檢測和分類系統高級缺陷檢測和分類系統是專為硬盤驅動器基板和介質而設計的。高功率雙波長激光器針對當前的關鍵缺陷挑戰進行了優化，多通道散射檢測器為全系列基板上亞微米凹坑、凸起、微粒以及被埋入的缺陷的分類提供了更高的靈敏度。KLA Candela® 7100系列的功能和穩定性確保了一個平臺可用于多個工藝控制應用點。

功能

• 通過整個磁盤的缺陷圖對金屬和玻璃、基板和介質上的亞微米凹坑、凸起、微粒以及被埋入的缺陷進行檢測和分類

• 通過整個磁盤的缺陷圖來更快地獲得結果，同時附帶對缺陷進行分類以及數據輸出可操作的功能

• 減少對離線檢測技術(AFM、SEM、TEM等)的依賴，從而降低總擁有成本

• 提供手動(7110)或全自動(7140)配置

應用案例

• 缺陷檢測

• 劃痕和隆起檢查

• 微粒和沾污檢測

• 激光紋理分析

• 碳均勻性分析和碳空洞檢測

• 對記錄層和軟襯層進行檢測

• 潤滑油均勻度分析

• 磁共振成像

選項

• 精密的金剛石劃線

• 高靈敏度選項

• 磁共振成像

• 離線軟件