KLA Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D和3D測量，以及2D翹曲度和應力。創新的光學杠桿傳感器技術提供高垂直分辨率、長程垂直測量范圍和微力控制測量能力。

KLA Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀探針接觸式測量技術的優點是可以進行接觸式直接測量，與材料特性無關。多種力度調節和探針選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。該探針測量選項能夠對您的工藝進行量化，以確定添加或去除的材料量，并通過測量粗糙度和應力來確定結構的任何變化。

功能

• 臺階高度：納米級到 1200 微米

• 微力：0.03 至 15 mg

• 視頻：5MP高分辨率彩色相機

• 梯形失真校正：可消除側視視圖造成的失真

• 弧形校正：可消除探針的弧形運動引起的誤差

• 小巧的尺寸：系統占用體積小

• 軟件：用戶友好的軟件界面

應用

• 臺階高度：2D和3D臺階高度

• 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

• 形狀：2D和3D翹曲度和形狀

• 應力：2D薄膜應力

工業

• 高校、實驗室和研究所

• 半導體和化合物半導體

• LED：發光二極管

• 太陽能板

• MEMS：微機電系統

• 汽車

• 醫療設備