LUPHOScan 850 HD 是泰勒霍普森推出的一款大型光學(xué)工件精密檢測(cè)儀,基于多波長(zhǎng)干涉技術(shù)(MWLI®),專為大型復(fù)雜光學(xué)應(yīng)用工件的精密檢測(cè)而設(shè)計(jì)。以下是其相關(guān)介紹:
測(cè)量原理:基于多波長(zhǎng)干涉技術(shù)(MWLI®),通過測(cè)量傳感器在被測(cè)工件表面按預(yù)設(shè)路徑掃描,同時(shí)工件自身旋轉(zhuǎn),利用多波長(zhǎng)干涉?zhèn)鞲屑夹g(shù)測(cè)量絕對(duì)距離,實(shí)現(xiàn)對(duì)工件表面三維面形的測(cè)量。
測(cè)量范圍:測(cè)量口徑范圍可從 5mm 到 850mm,測(cè)量高度可達(dá) 210mm,大工件負(fù)載可達(dá) 350kg,可滿足多種尺寸大型光學(xué)工件的檢測(cè)需求。
測(cè)量精度:具有高精度和高重復(fù)性的面形誤差測(cè)量能力,精度可達(dá) <λ/20 (PV99i),RMS 最小可達(dá) 5nm*,能為大型光學(xué)工件提供高精度的測(cè)量數(shù)據(jù)。
可測(cè)工件類型:主要用于對(duì)非球面透鏡、球面、平面和輕微自由曲面等旋轉(zhuǎn)對(duì)稱表面的超高精密非接觸式三維表面形狀測(cè)量。
可測(cè)材料:幾乎能測(cè)量所有的材料,包括透明、鏡面、不透明、拋光或磨光面等,適用范圍廣泛。
功能特性:具備全新設(shè)計(jì)的 Flying spot 環(huán)紋抑制模式、基于相位的自動(dòng)對(duì)焦、像素穩(wěn)定光學(xué)縮放及全新的變倍模式等。其智能設(shè)置功能可根據(jù)安裝的不同附件自動(dòng)配置,還擁有 ZYGO 有氦氖穩(wěn)頻激光以及模塊化、密閉光學(xué)系統(tǒng)。
性能優(yōu)勢(shì):測(cè)量速度快,對(duì)不常見的表面形狀,如平頂或有拐點(diǎn)的輪廓,具有高度靈活性,并且具有優(yōu)異的重復(fù)性。
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