S3000A 橢圓偏光儀
- 公司名稱(chēng) 深圳市達(dá)瑞博電子有限公司
- 品牌 Rudolph Technologies魯?shù)婪蚣夹g(shù)
- 型號(hào) S3000A
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2025/4/29 9:26:39
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 555
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,綜合 |
|---|
RUDOLPH S3000A 橢圓偏光儀
Rudolph S3000A 橢圓偏光儀概述
先進(jìn)的光譜橢圓儀
高性能，精確度高
多通道雙波長(zhǎng)光譜橢圓儀
主要特點(diǎn)
波長(zhǎng)范圍廣（118-8000nm）
材料范圍廣泛（有機(jī)和無(wú)機(jī)半導(dǎo)體、薄膜等）
可測(cè)量薄膜厚度和光學(xué)性能
重復(fù)性和可靠性
技術(shù)規(guī)格
自校準(zhǔn)光機(jī)、光纖激光二極管源和高分辨率彩色CCD檢測(cè)器
基于Windows操作系統(tǒng)，先進(jìn)流程控制軟件
自動(dòng)化測(cè)量薄膜的厚度、光學(xué)常數(shù)、應(yīng)力和折射率
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)用透明度計(jì)量工具
晶圓測(cè)試和計(jì)量設(shè)備，適用于半導(dǎo)體和高級(jí)封裝生產(chǎn)線(xiàn)
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
無(wú)損光學(xué)成像技術(shù)
X射線(xiàn)探測(cè)技術(shù)，測(cè)量粒子/缺陷密度、尺寸和材料特性
產(chǎn)品信息
晶圓尺寸為12英寸
設(shè)計(jì)用于300mm fab范圍內(nèi)的應(yīng)用
RUDOLPH S3000A是一款高性能的橢圓偏光儀，廣泛應(yīng)用于薄膜和表面的無(wú)損測(cè)量。該設(shè)備具有以下主要特點(diǎn)：
高精度與高重復(fù)性：RUDOLPH S3000A能夠提供精確、可靠的測(cè)量結(jié)果，適用于科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用。
多通道雙波長(zhǎng)設(shè)計(jì)：它是一種先進(jìn)的多通道、雙波長(zhǎng)光譜橢圓偏光儀，可以同時(shí)對(duì)多達(dá)四個(gè)樣品進(jìn)行測(cè)量，確保了結(jié)果的可重復(fù)性和可靠性。
寬波長(zhǎng)范圍：該設(shè)備支持從118到8000納米的廣泛波長(zhǎng)范圍，能夠測(cè)量有機(jī)和無(wú)機(jī)半導(dǎo)體、薄膜、光學(xué)層和基板等多種材料。
溫度控制與數(shù)據(jù)收集：配備溫度控制系統(tǒng)和數(shù)據(jù)收集功能，使得用戶(hù)可以方便地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)分析和數(shù)據(jù)分析。
自校準(zhǔn)光機(jī)與高分辨率檢測(cè)器：配備自校準(zhǔn)光機(jī)和高分辨率彩色CCD檢測(cè)器，確保了測(cè)量的準(zhǔn)確性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
用戶(hù)友好的軟件工具：基于Windows的操作系統(tǒng)和先進(jìn)的流程控制軟件，使操作更加簡(jiǎn)便，并且便于定制和分析。
晶片尺寸兼容性：可以測(cè)量最大150毫米的晶片，樣本厚度范圍為1毫米至4毫米，還可以通過(guò)選配模塊提升性能。
應(yīng)用領(lǐng)域：該設(shè)備不僅適用于薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)的測(cè)量，還能夠測(cè)量應(yīng)力和折射率等物理特性，適用于各種科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用。
總之，RUDOLPH S3000A是一款功能強(qiáng)大且用途廣泛的橢圓偏光儀，適合需要高精度和高重復(fù)性的科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。
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