美國ABeam Technologies載物臺
- 公司名稱 天津瑞利光電科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/7/23 14:49:11
- 訪問次數(shù) 152
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光電設(shè)備、光學(xué)儀器、機(jī)電設(shè)備及配件、電氣成套設(shè)備、工業(yè)自動化控制設(shè)備、電子設(shè)備、智能設(shè)備、通訊設(shè)備、儀器儀表、實驗室設(shè)備、五金交電、電線電纜、環(huán)保設(shè)備、汽車配件、工藝品、辦公用品的銷售；自營和代理貨物及技術(shù)的進(jìn)出口業(yè)務(wù)；光電設(shè)備安裝、調(diào)試及檢修
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,汽車及零部件,電氣 |
|---|
產(chǎn)品名稱：ABeam Technologies載物臺XENOS XeMove
產(chǎn)品型號：XENOS XeMove
產(chǎn)品介紹
XENOS XeMove載物臺使用先進(jìn)的激光測量系統(tǒng)和超聲波壓電驅(qū)動技術(shù)，結(jié)合我們的光刻系統(tǒng)（測量分辨率為10nm），可獲得優(yōu)于100nm的縫合和覆蓋精度。
XeMove：電子束光刻平臺
緊湊的設(shè)計允許用作子階段或更換階段，只需要電氣室饋通。所有組件都是高真空兼容且非鐵磁的。緊湊的設(shè)計包括激光測量系統(tǒng)和壓電驅(qū)動部件。軸上測量將偏航誤差的影響降至更低。行程范圍從55毫米到120毫米不等。
性能特點(diǎn)
l 集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中不需要復(fù)雜且昂貴的腔室修改。
l 測量系統(tǒng)不需要激光視口，載物臺電機(jī)不需要機(jī)械饋通，所有有源部件都放置在真空室內(nèi)，并通過標(biāo)準(zhǔn)電氣饋通進(jìn)行電子控制。
l 對于某些腔室設(shè)計（例如JEOL JSM-7xxx），載物臺可以通過負(fù)載鎖插入，并通過腔室內(nèi)的特殊電ZIF觸點(diǎn)連接。
l 當(dāng)平臺停止時，驅(qū)動電機(jī)斷電，位置被機(jī)械鎖定，從而將總功耗降至更低，防止加熱和相關(guān)漂移。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)地：美國
類型：電子束光刻平臺
測量分辨率：10nm
行程范圍：55mm到120mm
縫合精度：優(yōu)于100nm
覆蓋精度：優(yōu)于100nm
激光視口：不需要
機(jī)械饋通：不需要
觸點(diǎn)連接：ZIF
兼容：高真空
組件：非鐵磁
部件驅(qū)動：壓電
采購中心
化工儀器網(wǎng)