二手日立+日本電子掃描電鏡主要特長

優秀電子光學系統                                                           

JSM-IT200A是株式會社最新升級版機型，集合了分析掃描電鏡精髓功能，結構緊湊、節省空間，分辨率高。

操作舒適快捷                                                                  

JSM-IT200A擁有非常直觀的操作系統，即使沒有經驗的用戶也可進行操作高品質的SEM圖像，以及高效率元素分析。可支持操作觸摸屏。

安裝的靈活性                                                                           

節省空間，安裝方便。一個電源插座就足以安裝。不需要任何冷卻水。

二手日立+日本電子掃描電鏡中用來產生圖像的信號源于電子束與樣品中不同深度的原子相互作用。因此而產生各種類型的信號包括二次電子(Secondary electron, SE)、反射或背散射電子(Back-scattered electron, BSE)、特征X射線和光線(陰極射線發光)(CL)、吸收電流(樣品電流)和透射電子。 二次電子探測器是所有掃描電鏡的標配。

在二次電子成像(Secondary electron imaging, SEI)中，二次電子是從樣品表層發射的。因此，SEI可以產生超高分辨率的樣品表面圖像并顯示尺寸小于1納米的細節。背散射電子(BSE)是通過彈性散射從樣品反射的成束電子。它們的發射位置在樣品更深處，因此BSE圖像的分辨率低于SE。然而，BSE與從特征性X射線獲得的光譜通常用于分析型SEM，因為BSE信號的強度與樣品的原子序數(Z)密切相關。BSE圖像可以提供樣本中不同元素的分布信息，但不能提供結構信息。 在主要由輕元素組成的樣本中，例如生物樣本，BSE成像可以對直徑為5-10 nm的膠態金免疫標記成像，而這很難或不可能利用二次電子成像檢測到。 當電子束從樣品中激發出內殼層電子時，樣品會發射出特征X射線，這是因為高能電子充滿殼層并釋放能量。這些特征X射線的能量或波長可以通過能譜儀Energy-dispersive X-ray spectroscopy, EDX）或波譜儀（Wavelength-dispersive X-ray spectroscopy）測量，并可用于識別和測量樣品中的元素豐度進而繪制元素分布圖。

由于樣品臺的限制，SEM樣品必須足夠小，同時可能需要特殊的預處理來增加樣品的電導率和穩定性，以便樣品能夠承受高真空條件和高能電子束的轟擊。通常使用導電膠將樣品牢固地安裝在樣品臺或短柱上。SEM被廣泛用于半導體晶片的缺陷分析，制造商制造出可以檢查尺寸為300 mm的半導體晶片的任何部位的儀器。許多儀器都有著可以將該尺寸的物體傾斜45°并提供連續360°旋轉的腔室。