日本電子二手掃描電鏡(一) 主要性能

二次電子圖像分辨率 

3.0nm @ 30KV   WD 8mm

8.0nm @ 3KV    WD 6mm

15.0nm  @ 1KV  WD 6mm

背散射電子模式分辨率

4.0nm@30KV

放大倍數                                                            

×5~×300,000（底片倍率）

×14~×839,724（顯示器倍率）

探測器

二次電子探測器

半導體型背散射電子探測器(技術)

圖像模式

二次電子圖像

REF像

成份像 (背散射電子圖像)

形貌像 (背散射電子圖像)

立體像 (背散射電子圖像)

實時圖像顯示

雙實時圖像同時顯示, 分割實時圖像顯示

加速電壓

0.5KV ~ 30KV

探針束流

1pA ~ 0.3uA

(二) 電子光學系統

燈絲                                   

工廠預對中鎢燈絲

電子槍偏壓

無縫式自給偏壓, 連續調整

電子槍合軸

自動合軸

燈絲加熱

自動加熱

聚光透鏡                               

變焦聚光透鏡系統 – 技術

物鏡

超級錐形物鏡

物鏡光闌

1孔固定，可在X和Y方向微調

聚焦

自動/手動聚焦

像散

自動/手動消像散

像散存儲器                             

標準配置，自動/手動補償像散

圖像移動                                

X-Y , ±50um

(三) 樣品臺

樣品臺類型

全對中樣品臺

Traverse

行程                                   

X     :  80mm;

Y     :  40mm;

Z     :  5 ~ 48mm;

傾斜 T:  -10 ~ +90°

旋轉 R:  360°連續endless

Maximum Specimen Size

最大樣品尺寸

150mm diameter & 48mm height specimen can be inserted

可裝直徑150mm高度為48mm的樣品

Maximum Size of Observation

最大觀察視野

127mm diameter

直徑127mm

Image Display

(四) 圖形顯示

顯示像素

640×480,1280×960,2560×1920,5120×

圖像處理

平均值, 灰度修正, 反差增強, 偽彩, 二及四分屏, 2及4倍數碼變焦

文件存儲格式

BMP, TIFF, JPEG

Operation System

(五) 操作系統

PC

計算機

OS    :  Windows 10 (英語版)

觸摸屏式臺式電腦

(六) 測量功能

平行線間距測量

垂直, 水平, 對角

2點之間距離測量

任意2點間距離

圓的測量

直徑

2個圓中心間距離(觸摸屏操作下不支持此功能)

角度測量

角度

面積測量

圓和多角形

計數

顆粒計數

(七) 真空系統

真空度

高真空模式 1×10^-4Pa

抽真空時間

3 min

真空泵系統                             

一個分子泵, 一個機械泵

(七) 安全裝置

斷電,斷水,泄壓,漏電保護

(八) 自動功能

自動電子槍控制,自動聚焦,自動消像散,自動反差和亮度

(九) 擴展接口

EDS 能譜儀、Chamber Scope紅外相機、Probe Current Detector束流監視器

(十)能譜儀主要性能

探測器

電制冷方式Box SDD 探測器 – 不用液氮

探頭有效掃描面積

25 mm²

探測器移動

Fixed

固定

分辨率

130eV or less (ICR 5,000 cps or less)

元素分析范圍

Be(4) to U(92)

鈹 至 鈾

窗口

抗大氣壓的超薄窗

取出角

35°（WD：10mm）

制冷方法

Peltier cooling

標準搭載功能

 定性分析

 定量分析

活區面分析

點分析

 束流追蹤