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Veeco Instruments退火系統(tǒng)LSA 101
- 公司名稱 天津瑞利光電科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/6/27 15:07:11
- 訪問(wèn)次數(shù) 264
Veeco InstrumentsVeeco Instruments退火系統(tǒng)退火系統(tǒng)LSA 101美國(guó)Veeco Instrumen美國(guó)退火系統(tǒng)
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,汽車及零部件,電氣 |
|---|
產(chǎn)品名稱：Veeco Instruments退火系統(tǒng)LSA 101
產(chǎn)品型號(hào)：LSA 101
產(chǎn)品介紹
Veeco的LSA101系統(tǒng)安裝在DM和鑄造廠，是大批量生產(chǎn)40nm至14nm節(jié)點(diǎn)的邏輯器件的技術(shù)。LSA101的掃描技術(shù)建立在Veeco可定制的Unity平臺(tái)上，在均勻性和低應(yīng)力處理方面具有基本優(yōu)勢(shì)。LSA101系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵毫秒退火應(yīng)用，使客戶能夠保持準(zhǔn)確、有針對(duì)性的高處理溫度，從而實(shí)現(xiàn)器件性能的提高、更低的泄漏和更高的產(chǎn)量。
標(biāo)準(zhǔn)LSA101配置利用單個(gè)窄激光束將晶片表面從襯底溫度加熱到峰值退火溫度。為了應(yīng)對(duì)日益復(fù)雜的工藝需求，Veeco開發(fā)了一種雙光束技術(shù)，該技術(shù)擴(kuò)展了非熔化激光退火的應(yīng)用空間，并采用第二種低功率激光束實(shí)現(xiàn)低溫加工。當(dāng)使用雙光束時(shí)，引入第二較寬的激光束來(lái)預(yù)熱晶片。雙梁系統(tǒng)在調(diào)節(jié)溫度和應(yīng)力分布方面提供了靈活性。
性能特點(diǎn)
l Ultratech的激光處理系統(tǒng)提供了解決方案，以應(yīng)對(duì)制造具有高度激活的源極/漏極觸點(diǎn)的超淺結(jié)晶體管的艱巨挑戰(zhàn)
l LSA在高達(dá)1350°C的溫度下提供亞毫秒熱退火過(guò)程，從而以小的摻雜劑擴(kuò)散減少激活
l Ultratech的光學(xué)設(shè)計(jì)與其他毫秒退火系統(tǒng)相比，將與圖案相關(guān)的模內(nèi)溫度變化減少了>10倍
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)地：美國(guó)
節(jié)點(diǎn)：40nm到10nm
平臺(tái)：Unity Platform
系統(tǒng)類型：雙梁
技術(shù)：雙光束
精度：亞毫秒
溫度：高達(dá)1350°C
加工方式：低溫
安裝：DM和鑄造廠
標(biāo)準(zhǔn)配置：單個(gè)窄激光束
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