Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 北方華創
- 型號 Sitara TA230A
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/6/5 12:19:54
- 訪問次數 503
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1. 產品概述
Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。
2. 設備用途/原理
Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝，高精度溫度控制，提供優異工藝，低成本，高產能。
3. 設備特點
晶圓尺寸 12 英寸，適用工藝 快速熱退火、快速熱氧化、金屬硅化。適用域 科研、集成電路。此外，12英寸單片快速熱退火系統的應用還涉及到泛半導體實驗線、中試線、生產線裝備及工藝和廠務技術服務等領域，展示了其在半導體制造中的重要角色。這種系統的發展和應用，對于推動半導體技術的進步和促進相關產業的發展具有重要意義。?
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