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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統

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Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1. 產品概述

Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統,適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。

2. 設備用途/原理

Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統,適用于 260-1200℃快速熱處理工藝高精度溫度控制,提供優異工藝,低成本,高產能。

3. 設備特點

晶圓尺寸 12 英寸適用工藝 快速熱退火、快速熱氧化、金屬硅化。適用域 科研、集成電路。此外,12英寸單片快速熱退火系統的應用還涉及到泛半導體實驗線、中試線、生產線裝備及工藝和廠務技術服務等領域,展示了其在半導體制造中的重要角色。這種系統的發展和應用,對于推動半導體技術的進步和促進相關產業的發展具有重要意義。?


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