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Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng),適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。

2. 設(shè)備用途/原理

Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)適用于 260-1200℃快速熱處理工藝高精度溫度控制,提供優(yōu)異工藝低成本,高產(chǎn)能

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 12 英寸適用工藝 快速熱退火、快速熱氧化、金屬硅化適用域 科研、集成電路。此外,12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)的應(yīng)用還涉及到泛半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)等領(lǐng)域,展示了其在半導(dǎo)體制造中的重要角色。這種系統(tǒng)的發(fā)展和應(yīng)用,對于推動半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步和促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義。?


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