1. 產(chǎn)品概述

Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。

2. 設(shè)備用途/原理

Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝，高精度溫度控制，提供優(yōu)異工藝，低成本，高產(chǎn)能。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 12 英寸，適用工藝 快速熱退火、快速熱氧化、金屬硅化。適用域 科研、集成電路。此外，12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)的應(yīng)用還涉及到泛半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)等領(lǐng)域，展示了其在半導(dǎo)體制造中的重要角色。這種系統(tǒng)的發(fā)展和應(yīng)用，對于推動半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步和促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義。?