| 測量原理 | 見參數 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 2千-5千 | 量程 | 見參數mbar |
| 應用領域 | 化工,地礦,能源,建材/家具,綜合 | 真空接口 | 見參數 |
| 訂貨號 | 175.030.770.78 周璇 |
ULVAC愛發科 熱陰極電離真空計 傳感器型
ULVAC愛發科 熱陰極電離真空計 傳感器型
特點
可連接到不同的測量范圍：復合電離真空計可以根據
小型化：與之前的產品相比，實現了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%），成為同級別最小的產品之一。
操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設定點設置、狀態確認等。
強大的產品陣容：除模擬輸出規格（SH200-A）和串行通信規格（SH200-R）外，還將增加EtherCAT規格（SH200-E）。
燈絲壽命通知功能：通過監測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～5×10-8Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。
用途
用于各種制造設備的高真空區域的工藝監控，包括半導體和電子元件。
用于具有多個處理室的各種制造設備的高真空區域的極限壓力測量，例如in-line式和枚葉式
高真空?超高真空設備的壓力測量
規格
| 型號 | SH200-A | SH200-R | HT200-E | |
| 規格 | 標準規格 | 串口通信規格 | EtherCAT規格 | |
| 適應多離子傳感器 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) | |||
| 可以連接的傳感器 | 多離子傳感器：1本 皮拉尼真空計SWU10-R：1本（可選） 大其他傳感器SAU：1本（可選） | |||
| 測量精度（N2） | SH200本體模式：±2％ | |||
| 取樣時間 | 60ms | |||
| 測定値出力 | 出力電壓 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁 圧力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} | |||
| 更新時間 | 60msec | |||
| 控制輸入信號 | FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF 打開集電極動作、負邏輯 * FIL ON/OFF信號使用方式因模式而異 | - | - | |
| 制御出力信號 | 傳感器錯誤，設定點1/2/3, 有效排放,燈絲電力監控 定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V | - | - | |
| 串行通信規格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED顯示 | POWER/ERROR： 電源、LED ERROR (閃爍狀態根據各種模式變化) | |||
| 發射電流 | 1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上) | |||
| DEGAS | 電子轟擊脫離方法（電子轟擊）1mA、330V | |||
| 測量部耐圧性 | 2×10+5Pa （絕對壓力） * 需要單獨考慮法蘭和夾具等的耐壓性 | |||
| 傳感器內部容量 | 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46) | |||
| 使用溫度范圍 | 10～50℃ | |||
| 使用濕度范圍 | 15～80%(不結露) | |||
| 保管溫度 | -20～65℃(非通電時、不結露) | |||
| IP保護等級 | IP30 | |||
| 電源電壓 | DC20～28V (波紋，噪音1%以下) 8W以下 | |||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub15銷（M2.6螺絲） | |||
| 重量 | 調節器：約280g 測定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g | |||
| 外形尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm (控制器部分) | |||
| 適合規格 | CE | |||
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