真空快速退火爐 8寸
- 公司名稱 昱臣半導(dǎo)體技術(shù)（香港）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/4/13 21:00:01
- 訪問(wèn)次數(shù) 191
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規(guī)格參數(shù)：
1、樣品尺寸：AS-master：8-inch，Up to 200 mm diameter；
2、溫度范圍：AS-master室溫~1450 ℃；
3、升溫速率：AS-master ：0.1 ℃~150 ℃/s ；
4、溫度控制：快速數(shù)字PID控制；
5、熱電偶：2個(gè)K型熱電偶；
6、低溫高溫計(jì)溫度范圍：150℃~1100 ℃；
7、高溫高溫計(jì)溫度范圍：400℃~1500 ℃；
8、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計(jì)（MFC）4路：氮?dú)?/span>、氬氣、混合氣體、氧氣；
9、配置分子泵及真空規(guī)，真空度達(dá)10-6hPa；
10、紅外鹵素?zé)艄芗訜幔鋮s采用風(fēng)冷（低噪音水平，無(wú)需壓縮空氣）；
11、加熱由功率控制而非電壓控制，避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問(wèn)題，保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性，即使在后續(xù)使用過(guò)程中更換了部分新的燈管也可以達(dá)到最初的熱處理效果；
12、石英腔體，腔體冷卻采用水冷，冷壁設(shè)計(jì)，雙層不銹鋼；
冷壁水冷技術(shù)優(yōu)點(diǎn)在于：1、無(wú)記憶，2、工藝重復(fù)性高，3、冷卻速度快；
13、反應(yīng)腔室的設(shè)計(jì)，氣體的進(jìn)入口設(shè)計(jì)在wafer的表面，避免在退火過(guò)程中冷點(diǎn)的產(chǎn)生。很好的保證了樣品在加熱過(guò)程中的均溫性；
14.安裝條件：Voltage : 3x400V+N+Gr
Power : 75 kW, 90 kW or 105 kW
Water : 2 to 4 bars, pressure drop 1 bar, 30 to 50 l/mn
Compressed air : 6 bars (valve actuation)
Process gas fittings : double ferrule ? or VCR ? (option)
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