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半導(dǎo)體缺陷檢測(cè) PULSAR系列
- 公司名稱 北京愛蛙科技有限公司
- 品牌 晶諾微
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/4/2 15:50:58
- 訪問次數(shù) 140
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半導(dǎo)體缺陷檢測(cè) PULSAR系列中的Pulsar L系列及Pulsar H系列是應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域的缺陷檢測(cè)設(shè)備，如WLP，PLP, 晶圓制造前端工藝等，可實(shí)現(xiàn)從低分辨率到高分辨率的缺陷檢測(cè)、分類、定位測(cè)量等功能
2. 半導(dǎo)體缺陷檢測(cè) PULSAR系列的特點(diǎn)
n 多種分辨率，分辨率達(dá)0.1um
n 測(cè)量速度快，產(chǎn)能可以到6pcs/hr（6inch，0.2um分辨率下），檢出率95%
n 設(shè)備穩(wěn)定性和可靠性高
n 自動(dòng)缺陷分類、自動(dòng)缺陷圖像存儲(chǔ)、自動(dòng)及手動(dòng)缺陷復(fù)查
n 高速、高數(shù)據(jù)率和高靈敏度圖像處理系統(tǒng)
n 亞像素的分辨率（1/10像素）
n 可靈活擴(kuò)容圖像處理吞吐能力
3. 光學(xué)系統(tǒng)
高速TDI線陣掃描
實(shí)時(shí)自動(dòng)聚焦
高分辨率：分辨率低至0.5um
支持多倍率鏡頭自動(dòng)切換
4. 運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
多軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
高精度，XY重復(fù)性±0.5um
高性能
5. 軟件系統(tǒng)
n 軟件自主設(shè)計(jì)開發(fā)，擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)
n 模塊化設(shè)計(jì)，提高效率，方便維護(hù)與功能升級(jí)
n 簡(jiǎn)單易用的人機(jī)交互界面
n 超大數(shù)據(jù)流采集及實(shí)時(shí)處理能力
n 多樣的結(jié)果顯示及報(bào)表打印
n 完善的系統(tǒng)自我診斷功能
6. 規(guī)格
Pulsar系列檢測(cè)設(shè)備主要性能規(guī)格 | |||
檢測(cè)對(duì)象 | 尺寸 | 面板（620mm×620mm），晶圓（6、8、12吋） | |
應(yīng)用 | 晶圓制造前端工藝、重布線層檢測(cè)（RDL）、晶圓級(jí)封裝（WLP）、面板級(jí)封裝（PLP） | ||
光學(xué)系統(tǒng) | 相機(jī) | 檢測(cè)：TDI線陣相機(jī) | |
分辨率 | 低至0.5um | ||
照明方式 | 白光照明，同軸+斜入射照明 | ||
自動(dòng)對(duì)焦 | 是 | ||
產(chǎn) 能 | 面板 | 光學(xué)分辨率 | 產(chǎn)能 |
0.5um | 5片/小時(shí) | ||
5um | 150片/小時(shí) | ||
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