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SL8500檢測掩膜版、襯底、外延片缺陷步驟

來源:深圳市熒鴻科技有限公司   2025年06月27日 10:17  

Sunlonge半導體缺陷檢測燈SL8500主要用于人工檢測掩膜板、襯底、外延片表面缺陷瑕疵,檢測步驟如下,更多關于半導體缺陷檢測請咨詢深圳熒鴻。

 

襯底缺陷檢測檢測步驟

檢測半導體襯底表面瑕疵前先對表面瑕疵檢測燈進行設置,瑕疵檢測燈燈頭高度與檢測臺之間距離為30-40cm,角度為垂直90度,放置黑色背景板于檢測臺上,打開瑕疵檢測燈并將亮度調到。采用懸空測試法,手拿半導體襯底放置于檢測燈與黑色背景板之間,半導體襯底與背景板之間的距離為15-20cm之間,半導體襯底與水平方向保持30-60度夾角(不同燈不一樣)。檢測瑕疵時,檢測員需要慢慢調整襯底與水平角度以尋找適合的瑕疵點。

 

外延片表面缺陷檢測步驟:

1-在檢測臺放置黑色背景板

2-SL8500檢測燈燈頭調整距離檢測臺40cm,燈頭與檢測臺角度為垂直90度(不同的燈不一樣)

3-接通電源,打開SL8500檢測燈并將亮度調到頂

4-將外延片置于檢測臺上并與水平角度保持一定角度(角度可見使用說明)

5-檢測員不斷調整外延片與水平的角度直到找到適合的檢測視角

 

掩膜版表面瑕疵檢測步驟:

在檢測臺放置黑色背景板

打開SL8500檢測燈并將檢測燈亮度調到頂

將掩膜版懸空放置于SL8500瑕疵檢測燈與檢測臺之間,保持與檢測臺15cm距離,與水平保持30-60°的角度(不同檢測燈不一樣)

檢測員不斷調整掩膜版直到找到最合適的檢測效果角度

半導體缺陷檢測.jpg


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