Sunlonge半導體缺陷檢測燈SL8500主要用于人工檢測掩膜板、襯底、外延片表面缺陷瑕疵,檢測步驟如下,更多關于半導體缺陷檢測請咨詢深圳熒鴻。
襯底缺陷檢測檢測步驟
檢測半導體襯底表面瑕疵前先對表面瑕疵檢測燈進行設置,瑕疵檢測燈燈頭高度與檢測臺之間距離為30-40cm,角度為垂直90度,放置黑色背景板于檢測臺上,打開瑕疵檢測燈并將亮度調到頂。采用懸空測試法,手拿半導體襯底放置于檢測燈與黑色背景板之間,半導體襯底與背景板之間的距離為15-20cm之間,半導體襯底與水平方向保持30-60度夾角(不同燈不一樣)。檢測瑕疵時,檢測員需要慢慢調整襯底與水平角度以尋找適合的瑕疵點。
外延片表面缺陷檢測步驟:
1-在檢測臺放置黑色背景板
2-將SL8500檢測燈燈頭調整距離檢測臺40cm,燈頭與檢測臺角度為垂直90度(不同的燈不一樣)
3-接通電源,打開SL8500檢測燈并將亮度調到頂
4-將外延片置于檢測臺上并與水平角度保持一定角度(角度可見使用說明)
5-檢測員不斷調整外延片與水平的角度直到找到適合的檢測視角
掩膜版表面瑕疵檢測步驟:
在檢測臺放置黑色背景板
打開SL8500檢測燈并將檢測燈亮度調到頂
將掩膜版懸空放置于SL8500瑕疵檢測燈與檢測臺之間,保持與檢測臺15cm距離,與水平保持30-60°的角度(不同檢測燈不一樣)
檢測員不斷調整掩膜版直到找到最合適的檢測效果角度
相關產品
免責聲明
- 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。