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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>工藝測量和檢測設備>晶圓缺陷光學檢測設備>HEP-MC8000 晶圓檢測機

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HEP-MC8000 晶圓檢測機

具體成交價以合同協議為準

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  武漢賽斯特精密儀器有限公司是武漢市專業研發,以力學試驗機儀器為主,同時銷售各種、中低端分析儀器。現有員工60多人,公司成功開發了PCI放大采集卡和中文版試驗軟件,并采用全數字化,操作簡捷,*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等標準、國家標準、行業標準的要求,公司亦通過了ISO9001質量體系認證和國家計量體系認證,榮獲了“武漢市第九界消費者滿意單位”的稱號。
  產品廣泛應用于電子、高校、政府研究機構、環保機構、石油化工、紡織制造、第三方檢測機構、*別研究院、新能源、集成電路、芯片、封裝測試、半導體行業、顯示器領域、光電材料、鋰電池、機械生產等領域。并與武漢理工大學、華中科技大學等建立了長期合作,每年投入大量研究經費,招攬各方優秀的技術人才加盟突破國內技術壁壘,不斷攻克新的技術難題,另外公司還積極拓展海外業務,產品遠銷越南,印度,埃及等國家和地區。
  本著“專業品質,專業服務”為宗旨,以“科技、品質、競爭、創新”為理念,通過不斷汲取新的技術,新的理念,繼續開發研制新產品,并為廣大客戶提供優質的售前,售中,售后服務。熱烈歡迎廣大新老朋友業函,來電,蒞臨我公司參觀指導!


 

實驗室檢測儀器,測試儀器設備等

晶圓檢測機采用非接觸檢測系統,對晶圓的平面度、厚度、粗糙度等進行檢測并分類,并完成晶圓標記及數據處理。

該設備產能:1片/分鐘。

該設備主要包含:

運動機構:將晶圓放入工作臺,通過高精度運動模組,移動晶圓進行掃描檢測。

檢測部分:集成相機、激光三維輪廓測量儀、位移激光傳感器對晶圓的厚度、平面度、粗糙度等進行全方面的檢測。

晶圓檢測機檢查內容:

檢查項目

指  標

備 注

表面缺陷檢查

崩邊(非立崩)、缺口

可檢能力≥170um*170um

檢出率100%

圖像灰度值差距>30;列出大小指標是可檢能力,設置過小會存在誤判多的問題,因此設定參數需按實際生產需求設定

沾污

可檢能力≥170um*170um

檢出率≥95%

誤檢率<0.5%(大小≥450um*450um情況下或實際生產需求設定的指標)

劃傷

可檢能力≥170um*170um

檢出率>95%(大小≥170um*450um情況下或實際生產需求設定的指標)

劃傷淺易漏檢

3D檢測

厚度

檢測精度分辨率+/-0.25um

測量重復性:≤±1μm

GR&R<10%

最大、最小、平均值

TTV

測量精度+/-2um

GR&R<10%

TTV整條線

翹曲、變形

測量精度+/-2um

GR&R<20%

最大值

平面度

+/-0.5um

偏差值

粗糙度

計算值

處理能力

檢測周期

60s/片






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