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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>工藝測量和檢測設備>晶圓缺陷光學檢測設備> UltraINSP - 晶圓表面缺陷檢測系統

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UltraINSP - 晶圓表面缺陷檢測系統

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岱美儀器技術服務(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經驗的高科技設備分銷商,主要為數據存儲、半導體、光通訊、高校及研發中心提供各類測量設備、工序設備以及相應的技術支持,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關系。自1989年創立至今,岱美的產品以及各類服務、解決方案廣泛地運用于中國香港,中國大陸(上海、東莞、北京),中國臺灣,泰國,菲律賓,馬來西亞,越南及新加坡等地區。


岱美在中國大陸地區主要銷售或提供技術支持的產品:

晶圓鍵合機、納米壓印設備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設備、光學三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統、應力檢測儀、電容式位移傳感器、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,請聯系我們,了解我們如何開始與您之間的合作,實現您的企業或者組織機構長期發展的目標。




膜厚儀,輪廓儀,EVG鍵合機,EVG光刻機,HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器

UltraINSP晶圓表面缺陷檢測系統是表面缺陷檢測的蕞完善的國產化替代產品,系統包括四個模塊可以檢測所有晶圓表面并同步采集數據:晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測模塊;輪廓、量測和檢查模塊;其提供了自適應數據采集控制,創新地利用測量評估結果匹配多傳感融合測量技術以保證檢測準確與穩定,系統可蕞大程度的替代進口缺陷檢測設備,具有很高的經濟效益。


目前可定制的缺陷類型:

  1. 邊緣缺陷檢測:崩邊、缺角

  2. 切割槽深度與寬度檢測

  3. 切割缺角、豁口檢測

  4. 切割槽多余材料堆積

  5. 引線鍵合質量檢測

  6. 焊點質量檢測










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