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化工儀器網>產品展廳>物理特性分析儀器>測厚儀>白光干涉測厚儀>F54-XYT-300 Filmetrics 自動測量光學膜厚儀

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F54-XYT-300 Filmetrics 自動測量光學膜厚儀

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 優尼康科技有限公司
  • 品牌 KLA-Tencor
  • 型號 F54-XYT-300
  • 產地 美國
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2025/6/24 14:03:39
  • 訪問次數 1593

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優尼康科技有限公司成立于 2012 年。在香港、上海、東莞、天津、成都和蘇州設有分支機構或辦公室。從成立伊始一直專注于精密薄膜測量領域,為半導體、面板等高科技企業和高校及研發中心提供精密測量設備與解決方案。我們秉承“真誠,專注,信賴”的理念,用我們真誠的態度與行動服務客戶,專注于為客戶提供好品質、適合用戶需求的產品,與每一位客戶建立互相信賴的合作伙伴關系。我們真誠希望與大家共同成長,共同發展,一起創造美好的明天。







主動式減震臺,Profilm3D光學輪廓儀,Filmetrics膜厚測量儀,薄膜厚度測量儀,粗糙度測量,輪廓測量,橢偏儀

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 化工,生物產業,能源,電子/電池,汽車及零部件

Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學膜厚儀




Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學膜厚儀產品介紹:

Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學膜厚儀借助F54-XYT-300的光譜反射系統,可以快速輕松地測量200 x 200mm樣品的薄膜厚度。電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供快速的厚度測量,速度達到每秒兩點。



Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學膜厚儀產品特點優勢:

  • 自動化薄膜厚度繪圖系統,快速定位、實時獲得結果;

  • 可測樣品膜層:基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量;

  • 測繪結果可用2D或3D呈現,方便用戶從不同的角度檢視;



Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學膜厚儀測量原理:

當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射,由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。



Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學膜厚儀產品應用與膜層范例:

半導體膜層

顯示技術

消費電子

派瑞林

光刻膠

OLED

防水涂層

電子產品/電路板

介電層

ITO和TCOs

射頻識別

磁性材料

砷化鎵

空氣盒厚

太陽能電池

醫學器械

微機電系統

PVD和CVD

鋁制外殼陽極膜

硅橡膠



Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學膜厚儀產品常見工業應用:

半導體制造

LCD液晶顯示器

光學鍍層

MEMS微機電系統

光刻膠

聚酰亞胺

硬涂層

光刻膠

氧化物/氮化物/SOI

ITO透明導電膜

抗反射涂層

硅系膜層

晶圓背面研磨






Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學膜厚儀產品參數:

波長范圍:

190nm-1700nm

光源:

鎢鹵素燈、氘燈

測量nk厚度要求1*:

50nm

測量精度2:

0.02nm

準確度*:取較大者

1nm或0.2%

穩定性3:

0.05nm

樣品大?。?/span>

≤直徑300毫米

速度(含有真空平臺):

5個點-8秒

25個點-21秒

56個點-43秒


光斑大小

標準500 微米孔徑

選配250 微米孔徑

選配100 微米孔徑

5X物鏡

100μm

50μm

20μm

10X物鏡

50μm

25μm

10μm

15X物鏡

33μm

17μm

7μm

50X物鏡

10μm

5μm

2μm



Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學膜厚儀測量圖:






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