F50 Filmetrics 光學膜厚測量儀自動化MAPPING
- 公司名稱 優(yōu)尼康科技有限公司
- 品牌 KLA-Tencor
- 型號 F50
- 產地 美國
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/6/24 14:25:46
- 訪問次數(shù) 5508
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產地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產業(yè),電子/電池 | 波長范圍 | 190nm-1340nm |
光源 | 鎢鹵素燈、氘燈 | 厚度測量范圍 | 5nm-2mm |
測量精度 | 0.02nm | 光斑大小 | 標準1.5毫米 |
樣品臺尺寸 | 1-300mm |
Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀
Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀產品介紹:
Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀依靠光譜測量系統(tǒng),可以簡單且快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標移動平臺,可以快速的定位所需測試的點并測試厚度,測試非常快速,大約每秒能測試兩點。用戶可以自己繪制需要的點位地圖。Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀配置精度高使用壽命長的移動平臺,以求能夠做成千上萬次測量。
Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀產品優(yōu)勢:
自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng),快速定位、實時獲得結果;
可測樣品膜層:基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量;
測繪結果可用2D或3D呈現(xiàn),方便用戶從不同的角度檢視;
Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀測量原理:
當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射,由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀常見工業(yè)應用:
半導體膜層 | 顯示技術 | 消費電子 | 派瑞林 |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽能電池 | 醫(yī)學器械 |
微機電系統(tǒng) | PVD和CVD | 鋁制外殼陽極膜 | 硅橡膠 |
Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀產品參數(shù):
波長范圍: | 190nm-1340nm | 光源: | 鎢鹵素燈、氘燈 |
厚度測量范圍: | 5nm-2mm | 測量精度: | 0.02nm |
光斑大小: | 標準1.5毫米 | 樣品臺尺寸: | 1-300mm |
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