ENI 高頻射頻電源 DOFBC2-083 27MHz RF Generator是經過長現場驗證具有優良工藝穩定性和控制能力的高性能射頻電源，能夠實現對射頻輸出的精準控制，被廣泛運用于濺射、CVD、PECVD、蝕刻等半導體制程工藝中。ENI 系列射頻電源具有優秀的成膜能力，成膜效果好、速度快，運用于半導體制程薄膜工藝中能夠提高成膜效率，一定程度上可以提高產線效率和產品良率。該型高頻射頻電源堅實耐用，為等離子工藝提供了優秀的可靠性。該型射頻電源設備整體上采用緊湊設計，緊湊小巧，能夠減少客戶的使用成本。

ENI 高頻射頻電源 DOFBC2-083 27MHz RF Generator 參數規格

設備品牌：ENI                                                                      

設備型號：DOFBC2-083

AC 電源輸入：3 phase~ /PE，208V，25A，50/60Hz

RF 射頻輸出：27MHz

通訊接口：Solenoid Control，Fiberoptic Interface

設備散熱：水冷散熱

設備重量：37.6kg，83.0lbs