化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>配件耗材>電源設(shè)備>其它電源設(shè)備>DAIHEN RTGA-30A DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W
DAIHEN RTGA-30A DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W
- 公司名稱(chēng) 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) DAIHEN RTGA-30A
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/6/2 15:58:23
- 訪問(wèn)次數(shù) 734
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| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號(hào) | 2L39-000009-13 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | DAIHEN | 型號(hào) | RTGA-30A |
| P/N | 2L39-000009-13 | 頻率 | 12.88MHz |
| 輸出功率 | 3500W | 設(shè)備狀態(tài) | Refurbished |
DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W RF Generator是經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，該系列射頻電源能夠?qū)ι漕l輸出實(shí)施精準(zhǔn)控制，被廣泛的應(yīng)用在濺射、CVD、PECVD、蝕刻等半導(dǎo)體制程中。RTGA 系列射頻電源具有優(yōu)良可靠的成膜能力，成膜速度快，運(yùn)用于半導(dǎo)體制程薄膜工藝中，可以一定程度上提升產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊的外觀設(shè)計(jì)，能夠降低客戶(hù)的使用成本。
DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W參數(shù)規(guī)格
設(shè)備品牌：DAIHEN
設(shè)備型號(hào)：RTGA-30A
AC 電源輸入：3 phase~ ，200V，27A，50/60Hz
RF 射頻輸出：12.88MHz，3500W
通訊接口：DeviceNet，Debug，Analog I/F
設(shè)備散熱：風(fēng)冷+水冷散熱
水冷進(jìn)水需求：MAX Torque 30N·m
設(shè)備重量：48.5kg
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