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化工儀器網>產品展廳>光學儀器及設備>電子顯微鏡>掃描電鏡(SEM)> FIB-SEM-TOF-SIMS

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FIB-SEM-TOF-SIMS

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上海磊微科學儀器有限公司 成立于2015年,總部位于上海市自由貿易區,是一家集銷售、服務、技術支持及研發為一體的企業。公司主要產品為高精度的分析檢測、生產設備及相關的備件,目前已與ParkTescanPicosunInstec等優秀設備供應商建立戰略合作關系。

上海磊微銷售高精度的產品,同時培養了專業的銷售和售后服務團隊,以專業的服務獲得了廣大客戶的認可。目前,上海磊微提供的產品廣泛應用于芯片、顯示、太陽能等半導體工業領域客戶,同時服務于各大高校、科研院所,并以專業的銷售和售后服務獲得了廣大客戶的認可并建立了良好的合作關系。同時在北京、成都、深圳、合肥、煙臺等地設有服務網點。

在半導體產業發展如火如荼的今天,上海磊微伴隨著行業不斷學習、積極提升自身水平, 為越來越多的客戶提供了專業的產品和服務。今后,磊微將以不斷培育的市場為依托,以先進優質產品為核心,以高效運作的團隊為基礎,迎來更快更好的發展。我們一直秉承團結創新、嚴謹奮進的企業精神,秉承誠信務實、互利多贏的經營理念,努力為客戶、為社會提供高品質產品和服務。



原子力顯微鏡,掃描電鏡,原子層沉積ALD,探針

產地類別 國產 價格區間 面議
儀器種類 聚焦離子束 應用領域 環保,化工,能源,電子/電池

FIB-SEM-TOF-SIMS電子顯微分析是材料和生命科學微觀分析中最 重要的一環,而元素分析是其中最重要的表征手段 之一,但標準的分析手段如能譜儀和波譜儀存在因 靈敏度不足、空間分辨率較差,無法進行輕元素、 微量元素的分析,無法分辨同位素等等問題,已不 能滿足應用發展的需求。

       FIB-SEM-TOF-SIMS提供的解決方案是將飛行時間二次離 子質譜與FIB-SEM系統集成。這種組合能夠為用 戶提供固體材料的3D化學表征和分子信息,高離 子質量分辨率和高空間分辨率成像等,并可以進行 原位FIB深度分析。

       飛行時間-二次離子質譜(TOF-SIMS)

       TOF-SIMS (Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)是具有高分辨率的質譜儀。 工作原理是用聚焦離子束照射樣品表面,從而在樣 品最上層的原子層激發出二次離子(SI),再根據 不同質量的二次離子飛行到探測器的時間不同來測 定離子質量。

       與EDX相比,TOF-SIMS可以實現更好的橫向 和縱向分辨率,還可以識別并定量樣品表面層中存 在的元素和分子物質,以及具有類似標稱質量的同 位素和其他物質等。

       具有超高靈敏度,可檢測從H開始的任意元 素,檢出限達ppm量級

•  優異的空間分辨率,橫向分辨率< 40 nm, 縱向分辨率< 3 nm

•  正負離子均可檢測,離子質量分辨率>800

•  2D和3D的快速、高離子質量分辨率和高 空間分辨率成像,可進行原位FIB深度剖析

•  通過精密控制的坐標轉移,保證不同儀器分 析位置的重合

•  TESCAN所有型號的FIB-SEM均可配置 TOF-SIMS 系統


1.輕元素及微量元素分析:Li離子電池中LI+面分布分析。

2.通過低電壓和小束流FIB逐層減薄,成功區分出厚度為2.5 nm的摻有0-15% 的In元素的GaN層。

3.金屬復合材料中微量元素的晶界偏析測定,檢出限可達ppm級。

4.對鈾礦石進行初期的同位素分析,快速得到238U和235U的分布信息。




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