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化工儀器網>產品展廳>光學儀器及設備>電子顯微鏡>掃描電鏡(SEM)> TESCAN SOLARIS

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TESCAN SOLARIS

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上海磊微科學儀器有限公司 成立于2015年,總部位于上海市自由貿易區,是一家集銷售、服務、技術支持及研發為一體的企業。公司主要產品為高精度的分析檢測、生產設備及相關的備件,目前已與ParkTescanPicosunInstec等優秀設備供應商建立戰略合作關系。

上海磊微銷售高精度的產品,同時培養了專業的銷售和售后服務團隊,以專業的服務獲得了廣大客戶的認可。目前,上海磊微提供的產品廣泛應用于芯片、顯示、太陽能等半導體工業領域客戶,同時服務于各大高校、科研院所,并以專業的銷售和售后服務獲得了廣大客戶的認可并建立了良好的合作關系。同時在北京、成都、深圳、合肥、煙臺等地設有服務網點。

在半導體產業發展如火如荼的今天,上海磊微伴隨著行業不斷學習、積極提升自身水平, 為越來越多的客戶提供了專業的產品和服務。今后,磊微將以不斷培育的市場為依托,以先進優質產品為核心,以高效運作的團隊為基礎,迎來更快更好的發展。我們一直秉承團結創新、嚴謹奮進的企業精神,秉承誠信務實、互利多贏的經營理念,努力為客戶、為社會提供高品質產品和服務。



原子力顯微鏡,掃描電鏡,原子層沉積ALD,探針

產地類別 國產 價格區間 面議
儀器種類 聚焦離子束 應用領域 環保,化工,能源,電子/電池

TESCAN SOLARIS是一款鐐離子源的FIB-SEM 系統,適用于超薄TEM樣品制備和其他具有挑戰 性的納米加工任務。

SOLARIS配備Triglav™型SEM鏡筒,具有 超高的分辨率和優異的圖像襯度和表面靈敏度。

TESCAN SOLARIS 還配備了 Orage™ 型 FIB 鏡筒,保證了出色的低電壓離子束分辨率和微加工 性能,能夠制備小于20nm最佳質量的半導體器件 超薄TEM樣品。此外,高達100 nA的離子束流可 以對樣品進行位置的、大體積F舊-SEM逐層 掃描,圖像也具有出色的襯度。


新型Orag葉銖離子FIB鏡筒

創新的OrageTM稼離子FIB鏡筒配有良好的 離子光學系統,束流最大可提升至100 nA,擴展的 離子束能,范圍及優異的低電壓性能,有助于在 TEM制樣的最后環節消除非晶層。

OrageTM F舊鏡筒中的壓電驅動光闌變換器, 具有超高速度和可重復性--配置30個光闌,適用 性更強,且維護間隔長;離子槍壓電對中技 術使得在所有F舊設置條件下都能保證優的鏡筒 對中。


•  SEM 分辨率:0.6nm@15kV

•  F舊分辨率:<2.5nm@30kV

•  可選擇性釆集能量過濾后的電子信號,獲得 更好的表面靈敏度和襯度

•  離子束流變化范圍大,滿足不同精度、體積 要求的樣品加工任務

•  F舊的低電壓可達500 V,能夠制備小于 20 nm且具有高品質的超薄TEM樣品

•  FIB-SEM層析成像的同時,可獲得EDS和 EBSD數據,快速進行3D超微結構研究和 微量分析表征

1.10nm制程IC截面的TEM圖像,線寬小于10nm。

2.10 nm制程芯片,研磨去層后成像。

3.哺乳動物細胞的3D超微結構重建,體積約為6x8x6卩m3。

4.鋰電池中鋰元素的面分布,采用TOF-SIMS聯用技術分析。




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