scrubber全類型 尾氣處理設(shè)備-scrubber
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 蘇州銳納微光學有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 scrubber全類型
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2023/12/1 15:05:47
- 訪問次數(shù) 4304
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一想到半導體行業(yè),大家想到的是機械生產(chǎn),材料,電子電器,與污染兩個字似乎也沒有什么關(guān)系。但事實上,半導體生產(chǎn)過程中使用了大量有機物和無機物,包括許多有毒有害物質(zhì),對環(huán)境危害較為嚴重。如不通過尾氣處理設(shè)備對廢氣尾氣加以控制,將會產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。
半導體尾氣處理器
等離子水洗Local Scrubber設(shè)備,干式等
該設(shè)備主要去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產(chǎn)生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
噴淋塔
對于含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣 ,半導體廠封閉車間大都采用大型臥式洗滌塔進行廢氣處理。