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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

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上海添時科學儀器有限公司是一家代理國內外儀器的經銷及技術服務的專業公司。國內管式爐,退火爐,氣氛爐,真空感應熔煉爐,箱式爐,手套箱,研磨拋光機,電池測試恒溫箱,金剛石線切割機,磁控濺射儀,蒸發鍍膜,PECVD設備供應商!

公司所涉及的產品遍布大專院校、科研單位、工廠企業、商檢、農業、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業。

主要產品:生命科學儀器,化學分析儀器,光學儀器,物性測試儀器及設備,環保設備/流量儀表,行業專用儀器,藥物檢測儀器,種子儀器,農業和食品儀器,石油儀器,煤炭儀器,測繪儀表,建筑儀器,公路儀器,地質儀器,電工儀器儀表,自動化儀表,氣象儀器,環保儀器,電教器材,無線電儀器,小型機械等。并且提供與生物技術相關的實驗室科研儀器設備、實驗室耗材與試劑、實驗室設計、規劃、改建等服務。公司以“高品質,高服務,高信譽”贏得各地市場,各個領域的好評和歡迎。

未來,公司將引進和代理更多國內產品,并將研發自有品牌的產品以滿足市場不同的需求,以更高質量的產品,更高質量的服務,更高效率的運營,樸素而先進的管理理念,為客戶提供更優良的產品和服務!

公司宗旨:客戶至上 誠信為本 開拓創新 成就*




紫外可見分光光度計,原子熒光光度計,原子吸收分光光度計,紫外分光光度計,氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點儀

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 化工,石油,電子/電池,電氣,綜合

VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),控制面板采用觸摸屏模式,基片極限尺寸為2″,放置樣品的直徑為?50mm,加熱溫度達500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材,不可以濺射輕金屬和碳。本機采用旋轉式樣品臺,能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜,適用于實驗室制備復膜的樣品。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對設備進行控制,操作方便直觀。該機設備小巧,占用實驗室空間少,操作簡單,應用廣泛。因此被廣泛應用于各大高校及科研院所的實驗室中。1、PLC控制面板,4.3″觸摸屏,PID控溫方式。
2、可控參數包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。
3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。
4、已通過CE認證。

產品名稱VTC-16-3HD  3靶等離子濺射儀
產品型號
VTC-16-3HD
安裝條件本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)
4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上
5、通風裝置:不需要
主要參數
1、輸入功率:110V/220V通用   2000W(含真空泵)
2、輸出功率:1600VDC  50mA(最大電流)

3、石英罩:?160mm×120mm

4、樣品臺:?50mm(可選購加熱型樣品臺,最高溫度可到500℃;最長濺射時間不可超過5min)

5、真空泵:120L/M旋片式真空泵
6、進氣口:裝有精密可調針閥,以實現方便的調節進氣量

7、靶材:尺寸直徑?47mm,厚度0.1mm-3mm;可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni,

 不可濺射氧化物、半導體、一些輕金屬、Al、Zn、C等

產品規格

尺寸:360mm×350mm×3600mm;
重量:50kg

可選配件1、KF25真空接口、卡箍
2、不銹鋼波紋管(600mm)
3、旋片式真空泵(120L/M)
4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材
5、加熱型樣品臺




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