三英精控（天津）儀器設備有限公司是一家專注于精密運動控制技術和產品的開發，并致力于為科學研究、創新研發及精密儀器、設備的制造等提供系統的技術解決方案與集成，滿足市場對精密運動控制技術需求的專業制造商。

公司核心技術集精密傳感、精密驅動、精密機械、精密控制、精密集成等各領域的技術于一體，綜合技術指標已達到*水平。

主要產品：納米級運動平臺系列；微米級宏動系列；納米位移電容傳感器系列；宏微運動集成系統

納米定位平臺

納米運動控制技術是由光、機、電、控制軟件等多領域技術集成的運動控制技術。內部由一個或多個壓電陶瓷作為驅動，其產生單軸或者多軸的運動；通過柔性鉸鏈技術將壓電陶瓷產生的運動傳遞和放大；經超精密電容傳感器將運動信息傳遞給控制系統，再由控制系統對該運動進行修正、補償和控制；在對運動系統進行閉環控制時，可實現納米、亞納米級別的運動分辨率和運動控制精度。

三英精控納米臺特點
平：得益于*的硬件設計，有效地減少三維偶聯影響，保證納米臺全行程的平整度。

準：電容傳感器的應用及*的控制模式和算法，保證納米臺的運動精度。

穩：優異的機械結構設計以及優良的電容傳感器特性，保證了納米臺長時間的穩定性。

NS-XY25-01 XY二維納米定位臺 壓電平臺 壓電納米臺

典型應用：

顯微成像

光學對準

表面檢測

高密度存儲

半導體加工

技術參數：

注：閉環分辨率與帶寬有關。

尺寸圖：

如有客戶需求，三英精控可以對納米位移運動控制系統進行量身定制，以提供及時、滿意的技術支持與服務。

 XY二維納米定位臺 壓電平臺 壓電納米臺納米定位平臺 納米位移臺 柔性鉸鏈平臺 電控位移臺 高精度電控位移臺 精密滑臺 壓電平臺 壓電納米臺 納米壓電平臺 納米定位臺 壓電柔性鉸鏈平臺 壓電掃描臺 壓電定位臺 壓電納米定位臺 超低溫納米定位臺