Inficon CDG100D電容膜片式真空計 3CD1-95E-230B

INFICON SKY CDG100D 真空計是用于高精度總壓強測量和控制的選擇. CDG100D真空計是在 100°C 下溫度控制的, 在要求高的半導體和等離子過程中具有的性能。可供應的真空計包括全量程范圍從 100 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的法蘭型號和現場總線接口和提供線性 0至 10 伏, 與氣體類型無關的壓強訊號。 INFICON 電容真空計采用抗腐蝕的超純氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優勢是更好的訊號穩定性, 快速地從大氣壓恢復, 短的預熱時間和超長的使用壽命。 INFICON CDG 是高質量, 高效益的壓強傳感器用于高要求的半導體,等離子和真空應用。

優勢：

擁有成本低, 預熱快 50%, 能效高,低功耗

易集成,規格齊全的全量程, 法蘭和接口, 標準型號有兩個設點

簡易的一鍵按鈕或運距訊號調零指令,零點偏移可調整

診斷口用于快速服務和維護

兩年保用期,帶有優秀的加熱概念和真空計保護的長使用壽命

由于訊號穩定性和再現性, 即使在嚴酷的等離子

應用中也無長期再校準的需要

兼容性和標準: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

用途：

刻蝕, PVD, CVD 和其它半導體過程

化學和腐蝕性的高溫過程

一般薄膜和真空過程要求的真空計保護

訂貨號：

Inficon CDG100D電容膜片式真空計 3CD1-95E-230B