德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CDP

德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CDP

應用領域：

掃描顯微鏡

共聚焦顯微鏡

掩模/晶圓定位

表面測量技術

納米壓印

顯微操縱

圖像處理/穩定

產品參數：

型號：P-733.3CDP

主動軸：X、Y、Z

集成傳感器：電容式

-20至120 伏時的開環行程：115 微米×115 微米×12 微米

行程，閉環：100 微米×100 微米×10 微米

分辨率，開環：0.2（Z向上為0.1）納米

分辨率，閉環：0.3（Z向上為0.2）納米

線性誤差（X、Y）：0.03%

線性誤差（Z）：0.03%

重復精度（X、Y）：<2納米

重復精度（Z）：<1納米

螺距（X、Y）：<±3微弧度

偏轉角（X、Y）：<±10微弧度

Z向運動時的傾斜：<±5微弧度

剛度：1.4（Z向上為9）牛/微米

諧振頻率，空載：460（Z向上為1400）赫茲

帶120 克負載時的諧振頻率：340（Z向上為1060）赫茲

帶200 克負載時的諧振頻率：295（Z向上為650）赫茲

運動方向上的推/拉力：50/20牛

德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CDP