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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>其它半導體行業儀器設備>其它半導體設備>EVG 520 IS Bonding EVG 520IS晶圓鍵合

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EVG 520 IS Bonding EVG 520IS晶圓鍵合

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 EVG 520 IS Bonding
  • 產地 奧地利
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2024/9/25 16:27:38
  • 訪問次數 1385

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公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經驗豐富的專業技術團隊,專業服務于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據客戶的實際生產需求制訂可行的工藝技術方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設備和專業的技術服務打下了堅實基礎。

 

半導體設備,微組裝設備,LTCC設備,化工檢測設備

價格區間 面議 應用領域 電子/電池

EVG 520IS晶圓鍵合單腔或雙腔晶圓鍵合系統,用于小批量生產。

EVG520 IS單腔單元可半自動操作zui大200 mm的晶圓,適用于小批量生產應用。 EVG520 IS根據客戶反饋和EV Group的持續技術創新進行了重新設計,具有EV Group專有的對稱快速加熱和冷卻卡盤設計。諸如獨立的頂側和底側加熱器,高壓鍵合能力以及與手動系統相同的材料和工藝靈活性等優勢,為所有晶圓鍵合工藝的成功做出了貢獻。


EVG 520IS晶圓鍵合特征

全自動處理,手動裝卸,包括外部冷卻站

兼容EVG機械和光學對準器

單室或雙室自動化系統

全自動的邦定工藝執行和邦定蓋移動

集成式冷卻站可實現高產量


選項

高真空能力(1E-6毫巴)

可編程質量流量控制器

集成冷卻


技術數據

zui大接觸力:10、20、60、100 kN

zui小基板尺寸單芯片100毫米

真空:標準:1E-5 mbar

可選:1E-6 mbar



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