NS3500 Solar 半導體晶圓質量檢測系統(tǒng)

NS-3500 Solar 是一種可靠的半導體晶圓檢測系統(tǒng)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構，可以為半導體晶片，F(xiàn)PD產品，MEMS設備，玻璃基板，材料表面等提供各種解決方案。

Features & Benefits（性能及優(yōu)勢）：

• 高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

• 實時共焦成像                                                 簡單的數(shù)據(jù)分析模式

• 多種光學變焦                                                 雙Z掃描

  大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

• 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

• 自動聚焦

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Application field（應用領域）：

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

可測量微米和亞微米結構的高度，寬度，角度，面積和體積，例如

-半導體:IC圖形，凹凸高度，線圈高度，缺陷檢測，CMP工藝

- FPD產品:觸摸屏屏幕檢測，ITO圖案，LCD柱間距高度

- MEMS器件:結構三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽能電池，太陽能電池紋理，激光圖案

-材料研究:模具表面檢測，粗糙度，裂紋分析

Specifications(規(guī)格）:

注1:精細掃描由壓電執(zhí)行器（PZT）執(zhí)行。

注2 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品（步長1μm）進行100次測量。