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化工儀器網>產品展廳>常用儀表>數顯儀表>顯示控制器>MFC-E系列 質量流量控制器

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MFC-E系列 質量流量控制器

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青島芯笙微納電子科技有限公司,位于青島市嶗山區國際創新園,孵化自山東大學。公司以氣體質量流量計/控制器(MFC)、薄膜真空計(Vacuum Gauges)、壓力控制器(EPC)等半導體核心零部件的研發、生產和銷售為主營業務,通過自主創新、產學研合作及成果轉化、行業整合等手段,實現快速發展,助力國家半導體產業的發展。
公司現有發明Z利21項,實用新型12項,計量證書、CE認證、TUV EMC認證、防爆認證等各類證書30余份,從核心芯片到模組、算法構建了全鏈條技術能力。核心研發成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學院、山東大學、中科院、復旦大學等科研機構以及國內儀器儀表企業,全力打造國內研發團隊。
公司獲評國家高新技術企業、青島市“專精特新”企業,承建有青島市先進傳感器重點實驗室、青島市先進氣體流量測控技術工程中心、青島市專家工作站等研發機構,并承擔多項科技部重點研發計劃、山東省重大創新工程、青島市重點項目等國家及省部級技術攻關課題。

公司現有千級和萬級潔凈廠房3000余平米,在青島、深圳濰坊等地設有制造基地和研發中心,全面保障產品的高質量、快速出貨能力,并提供專業的售前售后服務。

 

 

 

質量流量控制器,質量流量計

應用領域 化工

MFC-E系列質量流量控制器Mass Flow Controller)是基于業內*微機電(MEMS)流量傳感器芯片技術,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制氣體質量流量控制器產品。該產品配備有進口電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等,具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點。操作使用方便,可任意位置安裝廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。輸出信號可選擇:4-20mA和1-5V模擬信號,以及RS485數字通信方式。

產品應用

  • 半導體加工

  • 分析和環保

  • 燃燒控制器                      

  • 真空技術

  • 表面處理                      

  • 食品和制藥

  • 化工(石化)等過程控制





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