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氮?dú)饬髁靠刂破?/strong>由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)理閥門和擴(kuò)大操控器等部分組成。其工作原理為：采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)，將傳感器加熱電橋測得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等，分流器決定主通道的流量。
在選型氮?dú)饬髁靠刂破?/strong>時(shí)，需要考慮以下因素：
介質(zhì)：明確測控的氣體種類，確認(rèn)所選氮?dú)饬髁靠刂破魇欠窨蓽y控該氣體。
壓力：氣體質(zhì)量流量控制器可測控的氣體通常為低壓氣體，壓力在2MPa以下。選型時(shí)需要確定入口壓力、出口壓力和工作壓差，并確保氣體質(zhì)量流量控制器的最大工作壓力大于入口壓力，工作壓差在可選范圍內(nèi)。
溫度：包括介質(zhì)溫度和環(huán)境溫度。用戶需要明確被測介質(zhì)的實(shí)際溫度和氮?dú)饬髁靠刂破魉幍墓ぷ鳝h(huán)境溫度。
流量：確定所需的最小流量和最大流量，并確保選型的氣體質(zhì)量流量控制器的滿量程大于或等于最大流量，測控范圍覆蓋最小流量和最大流量之間的范圍。
精度：確認(rèn)所需的精度數(shù)值，以及是設(shè)定值精度還是滿量程精度。
重復(fù)性：考慮在相同的測量條件下，對同一被測控的量進(jìn)行連續(xù)多次測量所得結(jié)果之間的一致性。
通訊方式：確定通過何種通訊信號(hào)來操作氮?dú)饬髁靠刂破鲗?shí)現(xiàn)控制流量的目的，如模擬信號(hào)控制或數(shù)字信號(hào)控制。
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