世偉洛克原子沉積閥   
316L VIM-VAR ALD 閥，1/4 in. 內螺紋 VCR, SC-01, NC 耐熱執行器，電磁導閥

 ALD3 和和 ALD6 隔膜閥特點隔膜閥特點

■ 常閉和常開氣動執行器

■標準流量系數 0.27 到 0.62；可 提供定制流量系數

■ 兩孔口直通和彎曲流動路徑結構

■ 兩孔口、三孔口和四孔口多孔口閥和多閥閥組

■使用 1.125 in.（僅 ALD3 系列）和1.5 in. 平臺的兩孔口和三孔口模塊化表面安裝閥門

■ C-密封設計（所有閥門）■ W-密封設計（僅 ALD3 系列）■1/4, 3/8 和 1/2 in. 以及 6, 10 和12 mm 的 VCR, “H” 型 VCR 和卡套管對焊端接隔膜隔膜

■ 鈷基超級合金 (UNS R30003) 材料可提高強度和耐腐蝕性能

■ 優化的超高循環壽命設計閥座閥座

■ 全包含 閥座設計

■ 高純級 PFA, 全氟化

■ 超高循環壽命

■ 廣泛的化學相容性

■ 良好的抗膨脹和防污染能力

■ 高整體性閥座密封性能閥體閥體

■ 閥體密封提供了超高循環壽命

■ 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體材料, 用于超高純應用

世偉洛克原子沉積閥   
316L VIM-VAR ALD 閥，1/4 in. 內螺紋 VCR, SC-01, NC 耐熱執行器，電磁導閥

■ *可清掃流道

■截流區小化

■便于吹掃

■流量大化

■ 帶加熱筒安裝孔的可選閥體執行器執行器標準標準

■高速, 可重復執行的氣動執行器

■ 能夠在不到5 ms內完成閥門開啟或關閉

■ 工廠設置的流量調節裝置保證閥門間準確的, 一致的Cv

■ 可選的、工廠設置好的電子執行器-位置傳感器可用以確認氣動執行閥門開啟位置

■ 可選的電磁導閥, 用于高速執行的電子控制耐熱耐熱與標準執行器擁有相同的性能和選購件, 同時擁有以下特點：

■ 包括熱應用場合的熱隔離連接

■限制從閥體到執行器的傳導性熱傳輸

■ 提供更均勻的閥體溫度來減少冷點

■顯著降低加熱閥門所需的電功率

■ 延長加熱閥體應用場合下的執行器壽命目錄目錄ALD3 和和 ALD6 隔膜閥隔膜閥特點