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FB2200聚焦離子束系統(tǒng)掃描電子顯微鏡

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掃描電子顯微鏡

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鎢燈絲電鏡(SEM) 場(chǎng)發(fā)射電鏡(SEM) 臺(tái)式電鏡(SEM) 聚焦離子束系統(tǒng)(FIB) 透射電子顯微鏡(TEM) 離子研磨機(jī) 離子濺射儀 便攜式顯微相機(jī)

價(jià)格區(qū)間 面議 儀器種類 聚焦離子束
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池

FB2200聚焦離子束系統(tǒng)掃描電子顯微鏡新一代系統(tǒng),效率更高、精度更高、質(zhì)量更高。
具有大面積離子銑能力,提供高速透射電子顯微鏡樣品制備。
60納安離子束電流,提高了做樣效率。
低加速原位電壓,樣品制備損壞率低。
FB2200聚焦離子束系統(tǒng)掃描電子顯微鏡采用日立超薄樣品制備技術(shù)(*),可制作出極微小精度的薄膜樣品。
與日立其它掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、掃描透射電子顯微鏡使用共用樣品桿(*),可快速簡(jiǎn)單轉(zhuǎn)移樣品,便于進(jìn)一步成像和分析。
選購(gòu)件
超薄樣品制備附件
該附件用于制備STEM、TEM等觀察用的超薄樣品,它是在FIB真空樣品倉(cāng)內(nèi)通過(guò)離子束定點(diǎn)切割晶圓的目標(biāo)位置,并用操縱器將超薄樣品提出來(lái)的一種系統(tǒng)。使用該附件可以大大提高樣品制備的位置精度,同時(shí)樣品制備時(shí)間也縮短到半小時(shí)以內(nèi)。(該技術(shù)已經(jīng)在日本和美國(guó)申請(qǐng)了)。

三維分析樣品桿
使用該旋轉(zhuǎn)樣品桿可在STEM和FIB上觀察用FIB系統(tǒng)加工出來(lái)的微小柱狀樣品。,該三維旋轉(zhuǎn)樣品桿可有效適用于小型化電子設(shè)備三維結(jié)構(gòu)評(píng)估以及立體故障分析。



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