廠家正式*代理商：岱美有限公司

ThetaMetrisis是一家私有公司，成立于2008年12月，位于希臘雅典，是NCSR'Demokritos'的微電子研究所的shou家衍生公司。ThetaMetrisis的核心技術是白光反射光譜（WLRS），它可以在幾埃到幾毫米的超寬范圍內，準確而同時地測量堆疊的薄膜和厚膜的厚度和折射率。

                                               FR-Scanner—— 自動化超高速精準薄膜厚度測量儀

一、產品簡介：

       FR-Scanner——自動化超高速精準薄膜厚度測量儀 是一種緊湊的臺式工具，適用于自動測繪晶圓片上的涂層厚度。FR-Scanner 可以快速和準確測量薄膜特性:厚度，折射率，均勻性，顏色等。真空吸盤可應用于任何直徑或其他形狀的樣片。

       *的光學模塊可容納所有光學部件:分光計、復合光源(壽命10000小時)、高精度反射探頭。因此，在準確性、重現性和*穩定性方面保證了優異的性能。FR-Scanner 通過高速旋轉平臺和光學探頭直線移動掃描晶圓片(極坐標掃描)。通過這種方法，可以在很短的時間內記錄具有高重復性的精確反射率數據，這使得FR-Scanner 成為測繪晶圓涂層或其他基片涂層的理想工具。
測量 8” 樣片 625 點數據<60 秒.

自動化超高速精準薄膜厚度測量儀

 

二、應用領域

o      彎曲基材（襯底）上的硬/軟涂層

o      聚合物涂層、粘合劑等

o      生物醫學（ parylene—— 派瑞林,氣泡壁厚,等等 )

o     半導體生產制造：(光刻膠, 電介質,光子多層結構， poly-Si,Si, DLC )
o      光伏產業
o      液晶顯示
o      光學薄膜
o      聚合物
o      微機電系統和微光機電系統
o      基底: 透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明

三、產品特點
o 單點分析(無需預設值）
o 動態快速測量
o 包括光學參數(n和k，顏色)
o 為演示保存視頻
o 600 多種的預存材料
o 離線分析
o 免費軟件更新 

四、技術參數

FR-Scanner——自動化超高速精準薄膜厚度測量儀

五、工作原理

白光反射光譜（WLRS）測量方法是在一定波長范圍內，分析垂直于樣品表面的入射光和從單層或多層堆疊薄膜反射的反射光譜的分析方法。

由界面&表面產生的反射光譜被用于確定獨立和附著于基底（在透明或部分/全反射基底上）的堆疊膜層的厚度、光學常數（n&k）等。

岱美有限公司（下面簡稱岱美）成立于1989年，是一間擁有多年經驗的性高科技設備分銷商，主要為半導體、MEMs、光通訊、數據存儲、高校及研發中心提供各類測量設備、工序設備以及相應的技術支持，并與一些重要的客戶建立了*合作的關系。

自1989年創立至今，岱美的產品以及各類服務、解決方案廣泛地運用于中國大陸、香港、中國臺灣、新加坡、泰國、馬來西亞、菲律賓等地區。
主要產品包括有：EVG晶圓鍵合設備、EVG納米壓印設備、EVG紫外光刻機、EVG涂膠顯影機、EVG硅片清洗機、EVG超薄晶圓處理設備、壓力計、流量計、等離子電源、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、電容式位移傳感器、振動樣品磁強計 (VSM)、粗糙度檢測儀、電鏡 (SEM)、透鏡 (TEM)、原子力顯微鏡 (AFM)、防振臺系統、三維原子探針材料分析儀 (Atom Probe)、激光干涉儀、平面／球面大口徑動態激光干涉儀、氦質譜檢漏儀、紫外線固化儀、碳納米管生長設備等。
岱美中國擁有八十多名訓練有素的工程師，能夠為各地區用戶作出快捷、可靠的技術支持和維修服務；為確保他們的專業知識得以更新及并適應新的要求，岱美定期委派工程師前往海外接受專項技術訓練，務求為顧客提供更高質素的售后服務及技術支持。
總部位于中國香港的岱美分別在新加坡、泰國、中國臺灣、馬來西亞、菲律賓及中國大陸（上海、東莞及北京）設立了分公司及辦事處，以帶給客戶更快捷更的銷售及維修服務。
我們真誠希望和業界的用戶互相合作，共同發展！！     

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