產地類別 | 國產 | 應用領域 | 醫療衛生,石油,能源,電氣,綜合 |
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應用于分立器件、電子電力器件、太陽能電池及大規模集成電路制造等領域對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及結燒等工藝,可用于2-8英寸工藝尺寸。
控制系統特點
可保存多條工藝曲線,每條曲線可設置多步
自行運行中可暫停/繼續行動功能
PID參數自整定功能
系統故障自診功能
停電后斷電繼續運行功能等等
具有歷史記錄功能
具有多點溫度補償
工藝曲線的自動運行控制功能
工藝中可強制調到下一步工藝運行功能
可存儲多組PID參數供系統運行調用功能
工藝氣體的程序控制功能
關鍵件全部具有高可靠性
具有自主知識產權的軟件系統,良好的人機界面
具有多重故障報警及各種安全互鎖保護功能
該系統可根據用戶的特殊要求增減或開發相應功能
主要技術指標
可配工藝管外徑:2-8英寸
可配工藝管數量:1-5管/臺
工作溫度范圍:400-1300℃
恒溫區長度及精度:300-1200mm 800-1300℃ ±0.5℃
單點溫度穩定性:800-1300℃ ±0.5℃
大可控升溫速度:15℃/min