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化工儀器網>產品展廳>測量/計量儀器>溫度計量儀器>紅外測溫儀>Sekidenko OR400T 外延片測溫儀

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Sekidenko OR400T 外延片測溫儀

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 北京宇冠世紀科技有限公司
  • 品牌 Advanced Energy/優儀
  • 型號 Sekidenko OR400T
  • 產地
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2025/4/9 7:02:31
  • 訪問次數 1885

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北京宇冠世紀科技有限公司(Beijing Infrared Technology Co., Ltd),2018年成立,位于北京市昌平區,經國家對外經濟貿易合作部審核批準,享有進出口經營權。主要經營與紅外相關的溫度檢測儀器和氣體分析儀器,包括:包括紅外測溫儀,紅外熱成像儀,黑體輻射源,非分光紅外氣體檢測儀,光聲光譜氣體監測儀;

我們代理多家的紅外產品包括Basf、Process Sensors、Kleiber等,并提供相應產品的檢測和維修服務。

我們致力于為客戶提供專業化、差異化、實用化的紅外產品和服務。公司擁有一批資深技術人員,具有近20年的豐富應用經驗,可為不同應用領域的客戶提供專業的紅外產品和應用解決方案。

 

 

 

紅外測溫儀、紅外熱像儀、高溫計、黑體爐

產地類別 進口 價格區間 面議
儀器種類 便攜 應用領域 電子/電池,航空航天,電氣

Sekidenko OR400T 外延片測溫儀主要特點

  • 采用光纖鏡頭或光導管的實時非接觸紅外測量

  • 完整的I / O和外部觸發/同步套件

  • 結構緊湊,易于集成的單通道光纖高溫計

  • 提升了低溫測試性能

詳細說明

傳統的熱電偶測量會因傳熱效應而導致溫場破壞,進而產生測溫誤差。OR400T 光纖溫度計可在不接觸晶圓的情況下直接測量晶圓溫度,提高晶圓之間的均勻性并提高溫度讀數的準確性

OR400T光纖溫度計(OFT)提供單通道溫度測量功能,支持RS-232和模擬數據接口,每秒高達20個讀數。適用于多種大批量半導體生產應用,包括LPCVD,PVD,和金屬蝕刻等。

每個OFT系統均由控制器,光學傳感器和光纖組成。使用光纜可以使控制器遠離RF和其他EMI源進行遠程定位。傳感器檢測目標(通常是基板)輻射的近紅外(NIR)光線,然后通過光纜將近紅外輻射傳輸到控制器,控制器將收集到的光轉換為溫度讀數。

典型應用

  • Epi

  • PECVD

  • LPCVD

  • PVD

  • MOCVD

 

技術參數

通用參數

配置

單通道溫度測量

溫度范圍

50 至 3500°C

波長600 至 1600 nm 
讀取速率高達 20 Hz
測溫精度±1.5°C

控制/重復精度

±0.1°C

分辨率0.01°C
接口
屏幕顯示無,可通過RS232設置
數據 I/O高達115 kB的 RS-232 輸出
模擬輸出0 至 10 V 或 4 - 20 mA
電參數

輸入電壓

AC: 90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz

DC: +24 VDC

環境參數
使用環境15 to 40°C (64 to 104°F), 非凝露
物理特性
物理尺寸

55.7 mm (H) x 31.8 mm (W) x 195.2 mm (D)

2.2" (H) x 1.3" (W) x 7.7" (D)

重量0.73 kg (0.33 lb)
安裝M3 X 0.5螺紋孔(有關更多信息,請參閱手冊)
電源線電流100 VAC時,小于0.7A

Sekidenko OR400T 外延片測溫儀



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